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超纯水在芯片生产中的应用

郑先生 来源: jf_70685061 作者: jf_70685061 2023-04-15 14:27 次阅读
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什么是芯片?集成电路就是芯片,是信息技术产业的核心元件。从芯片的设计、制造、封装材料等相关企业层出不穷。但高品质的产品才能被市场认可,再多的芯片厂家涌起也得禁得住市场的考验。芯片从制造开始就有考究,无论是原材料还是工艺都是经过精挑细选的。在制造芯片中有一种水也要经过专业的制取工艺而得来,才能更好地应用在芯片制造中,这种水便是超纯水。

芯片生产所需的清洗用水为电阻率大于18MΩcm,接近于18.3MΩcm的超纯水。这种超纯水的制备过程比较复杂,为了达到芯片生产的用水要求,制备超纯水的设备需要经过严格的检测。

据了解,传统超纯水制备过程中通常采用离子交换树脂,此工艺需要进行树脂再生,既耗费物力又耗费人工。目前,为了更好地节省人工和耗材,人们开始采用RO反渗透技术和EDI相结合的工艺,从而来制备超纯水。

目前这种超纯水设备与传统工艺相比,不仅投入的运行成本低且人工成本也是很低的,并且设备的整体集成化程度高,自动化程度高,遇故障可以实现立即自停,具有自动保护功能。而且该设备应用的膜技术,具有较高的溶质分离率和透过率,可以高效产出高品质超纯水。

综上,我们了解到,超纯水设备出水电导率可达18.2mΩ,大大地满足芯片行业用水需求,是该行业清洗用水的重要保障。

目前,常见超纯水设备多是采用反渗透技术与电去离子(EDI)技术相结合的方式来制取超纯水,这样的超纯水设备无论出水还是制作过程都是环保且符合国家标准的。超纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度,符合超纯水出水标准。

这样的超纯水设备无需使用任何再生化学品进行再生,无需中和药剂,应用EDI模块就不会产生酸碱废液。设备选用优质膜元件,能够去除水中的导电介质,并具有纯度高,无病毒和细菌,不含任何悬浮物、无化学污染等优势。对于芯片制造来说,该设备生产的超纯水符合产业需求,同时高品质的超纯水可以帮助芯片制造业提高成品率。

综上,超纯水设备的产业无论是从技术、人员还是专业服务来说都需要保持严谨的态度,这样才能保证生产出的超纯水值得人信赖。(文章转载与网络,如有侵权请联系删除)

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