1. 软件简介
TRCX非常适合大尺寸的触控屏、LCD、OLED面板的高级的RC分析,可用于任何形状的3D结构,可以快速地进行RC提取。
1.1 应用领域
TRCX提供精确的RC提取,能提升产品开发效率:
TFT和显示器结构创建;
有损电介质求解;
重复结构模拟;
大面积的精准快速模拟;
触摸屏模拟;
指纹传感;
面板内RC提取;
电极的电流密度分析;
1.2 主要功能
内置布局编辑器,并且可以通过Skill语言界面直接从其他商业布局运行;
使用TechWiz 布局进行掩膜版设计时,可导入TDB和GDS文件;
完整的3D生成器,多样的生成条件,提供多种刻蚀过程条件;
Layout模块使用简易的设定模式提供用户快速的设定与检视所生成的3D结构;
加载GDS时,用户可以设置虚拟多边形的去除条件,以加快并稳定网格生成;
提供三种3D网状形状:锥形、锥形保形和曼哈顿;
掺杂金属化:用户可以通过自我调整的掩膜板定义掺杂的区域;
提供自适应和非结构化网格算法,可以控制边缘,表面和体积条件;
具有强大的解决方案,可自动定义电极名称,只需选择电极即可获得RC提取结果;
通过使用变量功能可以非常轻松快捷地生成各种3D网格结构,可设置的变量参数:厚度,水平度(平面化),锥角和宽度,CD余量,圆角倒圆和移位距离;
支持分布式和并行计算方法
也适用于LSF平台;
1.3 应用举例
可以将结构参数设置为变量,执行高级工艺余量分析,如图显示了根据栅极掩膜的覆盖率的电容结果,通过使用split选项,工程师可以通过门极掩膜的未对准来预测错误率。

为有损介电材料提供复数求解器,左边的图片描述了具有低和高电导率的有损耗电介质的电势分布。右边的这是一个电容的计算结果。

进行大面积的电阻计算,利用分区模拟提高计算速度。

手指在TSP中的位置的电位分布模拟,根据计算数据显示电容计算的结果。

审核编辑黄宇
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