上海精测半导体全自动晶圆缺陷复检设备迎来双丰收

上海精测半导体自动晶圆缺陷复检设备eViewTM双丰收献礼国庆！

在举国欢庆祖国73周年华诞之际，上海精测半导体全自动晶圆缺陷复检设备eViewTM获得国内重点客户认可，性能达到垄断主要市场的同类国际对标机台；同时，eViewTM整装待发，乘风破浪，进驻华南大客户生产线。上海精测半导体eViewTM以双丰收硕果为国产半导体设备产业再添丰碑，为祖国生日隆重献礼！

缺陷检测是提高芯片制造良率的关键技术手段，电子束检测设备具有超高分辨精度，在集成电路制造过程中发挥着极其重要的作用。然而，该类设备被国外厂商垄断，严重制约了国内芯片制造的深入发展。上海精测半导体自成立以来，由电子光学事业部引领本领域的技术开发，该团队核心人员绝大部分来自于业界知名企业，积累了大量的实战经验，兼具深厚的系统集成及软硬件开发能力，凭借自身硬实力自主开发出全自动晶圆在线电子束缺陷复检设备eViewTM，并且拥有核心零部件的完整自主知识产权。该设备主要助力赋能集成电路制程的工艺及芯片良率控制，可在线对晶圆进行超高分辨率缺陷检测、复查、分析和分类。设备的成功推出，跨越高筑的技术壁垒、打破国外公司的垄断，在国产半导体设备领域迈出了重要一步，为实现中国芯片制造自主可控这一目标提供强有力的技术支撑。

eViewTM采用全新的电子光学成像和信号探测技术，具有百兆赫兹级高速像素采集速率，可实现高通量电子束扫描成像，并融合基于深度神经网络的人工智能算法以进行高速、高准确度缺陷自动识别与分类；同时搭配具备超低能量特性的能量色散X射线光谱仪，以实现待检芯片的元素成份分析，最大限度的为客户提供完整的纳米级缺陷复查和分析解决方案。

自该设备出机到客户端以来，上海精测半导体秉持精益求精的态度，从未停止创新超越、优化设计步伐。得益于国内多家客户的高标准、严要求，eViewTM精进打磨、日臻完善，检测性能实现重大升级优化，运行吞吐量稳步提升，目前已通过重点客户相关产线验证。验证结果表明，不论图像质量，还是检测能力和吞吐量等各方面，相关主要指标皆能达到垄断主要市场的同类国际对标机台的同等水平，从而满足客户的严苛要求，有效解决我国在电子束检测领域的关键技术难题。由此，凭借自身的性能优势，eViewTM得到了众多客户的认可和青睐，相继打入国内多家芯片制造商生产线进行验证，在市场上展露较强的竞争力。

在过去的4年里，上海精测半导体坚守初心、砥砺前行、不断突破，彰显了厚积薄发的强大实力，产品现已基本覆盖半导体前道制程的光学测量、电子光学检测两大核心领域，并在进一步拓展，呈现多元化、多场景应用趋势，为客户提供多样化、定制化服务。顺应时代发展，响应国家号召，上海精测半导体将坚守核心领域国产替代产业赛道，力争成为国内领先的半导体检测设备专业供应商。任重道远，道阻且长，行则将至，行而不辍，未来可期！