粗调与精调相结合的直线压电螺钉分辨率达亚纳米级

芯明天N82系列直线压电螺钉采用小巧的结构设计，将宏动粗调与压电精调结合于一体。使用操作简单方便，容易集成。可用于高精度镜架调节、运动台驱动、微调节等应用。

特点

•手动调节与压电调节相结合•粗调9.53mm•精调16μm

应用

•镜片调节架•运动平台驱动器•宏微操作调节等

宏微复合结构

压电螺钉是手动粗调与压电精调相结合的直线压电促动器，手调行程可达9.53mm，精调行程16μm。使用过程中可以通过手动粗调节mm级大行程，再通过压电精调实现nm级的位移与精度，适用于大行程且具有高精度要求的应用。

1)宏动粗调

N82系列压电螺钉的宏动粗调是通过外部壳体上的微细螺纹来实现的，手动旋转滚花部分进行直线的宏动调节。

该宏动调节对螺纹的加工精度要求非常高。

2)微动粗调

N82系列压电螺钉的内部集成了PZT压电陶瓷，通过对其施加电压来实现压电螺钉的微动精调运动。

3)锁紧螺母

针对宏动调节，配备有锁紧螺母，可对宏动调节后的位置进行锁定。

体积小易集成

N82系列压电螺钉的外形尺寸小巧，适于集成，例如用于镜片调节架。它既可以进行镜片的粗调，又可以进行光学上的精调，一举两得。

此外，它也可以用来单轴或多轴驱动运动平台等。

*单位mm

真空兼容

N82.16K-B1系列压电螺钉采用了特殊的真空材料、真空兼容引线、连接器等，为真空兼容版本，可在真空中使用。

精调整位移与电压曲线

推荐控制器

N82系列压电螺钉的纳米级精调，推荐使用芯明天E53系列压电控制器，它的体积小，带宽可达10kHz，可选择模拟或数字信号进行控制。

技术参数

宏动行程范围：9.53mm

微动行程范围(0~150V)：16μm微动驱动电压：0~150V静电容量：0.8μF工作温度：-25~85℃材质：钢

审核编辑：汤梓红