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      微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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      汉希科特中国微系统应用研究院开业仪式暨MEMS传感器专业论坛举行

      论坛期间还举行了汉希科特中国微系统应用研究院专家聘书颁发仪式。专家委员会由交通大学教授王庆康，复旦大学微电子学院副院长曾晓洋，中国科学院上海微系统与信息...

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