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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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最近的传感器技术发展使得机器人和其他工业系统设计实现了革命性的进步。除了机器人以外,惯性传感器有可能改善其系统性能或功能的应用还包括:平台稳定、工业机械...
ST在MICROTech World上展示MEMS技术多项应用成果
意法半导体 (STMicroelectronics,简称ST;纽约证券交易所代码:STM)将于2011年8月24-26日在韩国2011年MICROTec...
Maxim收购传感器和MEMS方案商SensorDynamics
美信(Maxim Integrated Products)宣布公司已完成对SensorDynamics的收购,SensorDynamics是一家提供专用...
ADI推出ADIS16210 MEMS iSensor数字倾角计系统
ADI全球领先的高性能信号处理解决方案供应商,最近正式全面推出ADIS16210 MEMS iSensor数字倾角计系统,该系统可在+/-180度的全向...
针对多点调平系统的不足,设计了电机式3点自动校准平台,简化了控制模型。在分析了调平过程中可能遇到的干扰因素后,采用相应的软硬件抑制方法,提高了系统适应复...
MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信...
2011-06-20 标签:MEMS 1.4k 0
虽然自微电子机械系统技术(MEMS)第一次被用于安全气囊和汽车压力传感器领域,至今已有20年左右,但真正让人们更了解惯性传感器的用途,却是任天堂Wi...
TI推出单芯片无源红外线(IR)MEMS温度传感器 TMP006
德州仪器 (TI) 宣布推出业界首款单芯片无源红外线 (IR) MEMS 温度传感器,首次为便携式消费类电子产品实现非接触温度测量功能
MEMS(微机电系统)传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎。MEMS传感器是系统级封装解决方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸多优点
消费电子、通信电子产品,如手机、数码相机、数码摄像机、PDA、MP3、PMP、P-DVD、DC、DV、NB、NetBook等必须具备一定的抗冲击或抗跌落能力
日前,意法半导体公司(STMicroelectronics)宣布,将大幅度提高其MEMS(微电子机械系统)产能。根据市场方面持续且强劲的需求,预计到20...
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中
ST推出新款数字MEMS麦克风MP34DB01和MP45DT02
ST今天推出两款新的数字MEMS麦克风。结合耐用性和可靠性出众的声音在降低成本的大小和质量,ST的MP34DB01和MP45DT02麦克风启用增强在移动...
SiTime公司日前宣布针对平板电脑以及电子书产品设计所需的所有时钟振荡器,推出完整的解决方案。基于SiTime公司低功耗全硅MEMS振荡器平台,
首款单芯片数字微机电系统(MEMS)麦克风开发商Akustica, Inc.宣布,推出一款新的单芯片数字MEMS麦克风
微机电系统(MEMS)在2010年增长强劲,和2009年的营业额相比增长了18.9%,根据市调机构IHS iSuppli最新调查显示,2012年到201...
MEMS在消费电子市场的渗透率正在不断提高。除了在游戏手柄、手机、笔记本电脑以及白色家电等产品中,利用低g加速计实现运动控制的用户界面和增强型保护系统,...
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