今天很多产品都利用了MEMS技术，如微换热器、喷墨打印头、高清投影仪的微镜阵列、压力传感器以及红外探测器等。本文将通过数分钟，带你深入解读MEMS技术。##基于各种原因，许多MEMS产品在商业
2014-11-18 10:00:42
5577 微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多
2015-03-24 14:28:105366 MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46:176103 
基于MEMS技术的滤波器是现在RF系统中的一个关键MEMS 器件。借助于MEMS 加工技术的进步及与射频/微波技术的结合，MEMS 滤波器的研究得到了快速的发展。MEMS 滤波器从RF 到毫米波
2014-02-25 11:40:227572 最新的MEMS技术实现了高清便携式投影显示器的创新用途，微机电系统（MEMS）显示技术以卓越的图像质量而闻名，全球80%以上的数字影院都采用这种技术。
2015-06-29 10:12:44681 什么是MEMS？ 微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米1微米可是要比人们头发
2017-12-15 09:36:044893 
本应用笔记探讨了MEMS（微机电系统）技术在标准实时时钟（RTC）中相对于标准晶体技术的优势。最明显的优势是尺寸。还讨论了MEMS技术优越的其他领域-CMOS工艺和开发，制造与组装以及环境耐用性
2021-05-13 07:50:003454 
安全第一，这是汽车界永恒的话题。想要确保汽车的安全性能，少不了电控车身系统、动力总成系统、辅助驾驶系统等系统的支持，而所有这些系统都高度依赖于各种MEMS技术提供的输入。
2014-08-29 09:25:331486 MEMS技术
2012-08-14 23:03:38
电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS
2018-11-07 11:00:01
更新等信息的近眼显示双目镜就在你的眼前显示信息。这只是有可能用基于微机电系统 (MEMS) 的投影显示技术来实现技术进步的几个创新型应用示例。基于MEMS的TI TI DLP® Pico™ 投影显示
2018-09-06 14:58:52
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23:59
牢牢地固定在硅芯片上,而使其能够抵御大于50000g的冲击。 热对流式加速度传感器 是采用MEMS技术,基于单片CMOS集成电路的制造工艺而生产出来的一个完整的加速度测量系统,就像其它加速度传感器
2018-10-31 16:31:39
通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，是近年来发展最快的领域之一。下面让我们来领略一下应用MEMS技术的黑科技吧。1、胶囊胃镜重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜，为消费者开创
2018-10-15 10:47:43
（罗盘）。这些微型元件称为MEMS（微机电系统），构成了小巧轻便的运动跟踪系统，与以前的产品相比，精度更高、可靠性更好且生产成本更低。那么，大家知道MEMS技术究竟有多重要吗？
2019-07-31 07:24:21
Bob Scannell，ADI公司业务开发经理最近几代的MEMS技术已经能够为航空电子设备提供高度可靠的关键性能，可大幅降低尺寸、重量、功耗(SWAP)和成本。在航空电子行业以及其它同样具有高要求
2018-10-17 09:43:58
Geitner说：“不断缩小的尺寸，结合日益提高的性能和内在的灵活性，为我们的基于MEMS技术的传感器开创了多种前景迷人的计算机和消费电子应用领域，ST的专业的硅知识和领先的微加工技术以竞争力的价格转化成
2018-10-25 11:31:52
样的转变来自于光学MEMS的技术进步——它们正变得更小、更灵活、质量更佳且更高效。先进MEMS正在将全新且创新型解决方案推进到一些应用领域，比如可穿戴技术、智能住宅和家用电器、汽车平视显示（HUD
2019-03-25 06:45:05
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27:14
自从马可尼在1901年成功地将电磁波信号由欧洲大陆传送至纽约后，无线通信技术即以飞跃的速度进步。如今无线通信更改变了我们的日常生活方式(图1)：有了移动电话，我们可在任何时间、任何地点与任何人通话
2019-10-21 08:08:39
最近几年利用微机电系统（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技术，在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注，主要原因移动电话与WLAN（Wireless
2019-06-25 08:07:16
如果一款移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。 事实上，MEMS元件的推出已证实了其在
2019-07-26 08:16:54
如果一款移动电话设计要能实现未来用户所期望的各项广泛服务，创造性思维是不可或缺的；而许多产业观察者认为，微机电系统(MEMS)将是实现这种设计的下一波技术。 事实上，MEMS元件的推出已证实了其在
2019-07-26 06:22:58
当前MEMS技术在传感器领域已得到广泛应用并取得了巨大成功。使用硅基微机械加工方法制作的微传感器不仅体积小，成本低，机械牲好，并且能方便地与IC集成。形成复杂的微系统。
2011-03-22 17:44:34
的一副近眼显示眼镜，能够在你眼前显示导航和社交媒体更新等信息。这些仅仅是众多基于微机电系统（MEMS）投影显示技术的进步而带来的创新应用中的少数几个示例。基于MEMS的TI DLP® Pico™ 投影显示
2022-11-16 08:04:25
即用的无线接口，通过常见的嵌入式接口（如SPI或I2C.）即可使用。 结论 MEMS惯性技术迎来了一个崭新的振动监控时代，并为此类仪器仪表赢得了更广泛的用户群体。 性能、封装和熟悉度可能有利于压电
2018-11-12 16:08:43
你能够随时随地的分享大屏幕的内容。还可以设想，你的一副近眼显示眼镜，能够在你眼前显示导航和社交媒体更新等信息。这些仅仅是众多基于微机电系统（MEMS）投影显示技术的进步而带来的创新应用中的少数几个示例
2018-08-31 14:01:34
` 随着智能化革命的到来，可穿戴医疗慢慢成为人们关注的新焦点，市场呈现大爆发趋势。可是想让可穿戴医疗进入寻常百姓家显然还存在着巨大的挑战，特别是可穿戴设备中，基础性的MEMS技术，可穿戴医疗技术
2014-12-05 16:38:42
MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能，这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外，MEMS
2014-11-17 16:43:56
件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过MEMS 加工技术制备的新一代
2019-07-24 07:13:29
倾角传感器可广泛应用于工业自动化、工程机械、医疗设备等领域，基于MEMS技术和单片机技术研制的倾角传感器，具有7段LCD显示和标准RS-485通讯接口，体积小、功耗低，既可作为检
2009-07-16 11:51:22
39 微机电 (MEMS) 技术在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长
2010-07-17 09:33:501305 
MEMS及其应用
MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actuator）与电
2010-07-26 10:13:15471 SiTime发布以MEMS技术的Oscillator新产品SiT8503系列-应用于200 kHz~1000 kHz
SiTime发布以MEMS 技术的Oscillator新产品SiT8503系列 –应用于200 kHz~1000 kHz (凯悌PERNASg)
2010-09-30 11:53:37867 Mouser Electronics宣布在Mouser.com上推出全新的技术网站，内容涉及微机电系统（MEMS）技术。 新网站旨在帮助设计工程师根据应用查找最新的MEMS产品，协助他们方便地访问最新的技术资源，并加快设计过程。
2013-05-17 15:19:55653 在可穿戴设备中基础性的MEMS技术应用广泛，可穿戴医疗技术的发展更是得益于MEMS技术的逐步成熟，这不仅仅是体现在灵敏度、准确性和体积上。
MEMS技术还将在可穿戴医疗设备扮演哪些重要角色？
2014-09-09 15:24:222530 最新的MEMS技术实现了高清便携式投影显示器的创新用途。
2015-05-26 15:06:222613 美国最大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前自豪地宣布：公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议。该协议着眼于为两个组织
2015-10-28 14:38:031130 RF_MEMS技术对小型化雷达的作用
2017-01-11 12:54:2111 MEMS技术在THz无源器件中的应用
2017-02-07 18:05:378 基于微机电系统（MEMS）技术制备安培型免疫传感器，并利用基于硫醇单层膜的纳米金单层膜自组装技术设计传感器界面，用于固定人免疫球蛋白（IgG）抗体，研制了一种新型的安培型免疫传感器。
2017-09-08 15:39:486 据麦姆斯咨询报道，MEMS代工厂Micralyne展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。
2017-10-16 17:17:546724 技术 2.1 MEMS 技术 随着光通信技术的飞速发展，ASON 对光开关矩阵也提出了更高的要求。光开关矩阵技术是光通信研究的热点，不同交换原理和实现技术的光开关矩阵被广泛提出。基于不同原理和技术的光开关矩阵的具有不同的性能指
2017-10-30 17:26:2310 该文采用至上而下的方式，介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统，将雷达子系统与RF MEMS 技术联系起来，具体分析了应用于雷达的RF MEMS 开关、移相器、滤波器和谐振器。同时，文中以开关
2017-11-07 10:32:3714 MEMS技术及其应用演示ppt
2017-12-01 14:57:230 Microelectromechanical Systems， 这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展，是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器，在体积、价格、产能
2018-04-17 11:29:0048525 本文阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试原理和主要参数设计原则,然后利用其集成了一种无线加速度传感器并进行了测试。实验结果表明
2018-01-17 07:19:261433 
MEMS技术正在逐步走向民用和消费类市场，我们正处于“MEMS狂潮”的开端，ST将以其完善的生产基础、高效的执行能力、对消费电子市场的深入了解，以及先进而稳定的生产研发技术平台作为此次新浪潮的重要
2018-01-17 07:28:016588 
数十年来，振荡器和时钟始终依靠石英晶体来构建稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前，用MEMS谐振器代替石英晶体的微机电系统（ Microelectromechanical System，MEMS）技术进入了市场，并且正在迅速走向成熟。
2018-03-21 16:39:572 值得一提的是，MEMS技术应用非常广泛，还可以用到人工眼球领域。对此，汪际军说：“我们现在研发的MEMS技术摄像头比现在的高速摄像头高出200多倍，更重要的是，MEMS传感器可以内置到人工眼球，技术一旦得到突破，无需眼角膜移植，直接连接脑神经即可。”
2018-04-17 16:22:003950 金山科技展示了拥有国内MEMS技术的最先进医疗产品，包括“慧图”磁控胶囊胃镜系统、“广角”胶囊式内窥镜系统、食道阻抗-pH联合监测系统、宫腔观察吸引手术系统、氩气高频电刀JSDD-Q等。
2018-04-18 11:40:466505 据麦姆斯咨询报道，近日，领先的微机电系统（MEMS）和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。
2018-04-28 15:30:002103 当医疗产品越来越像智能、精准演进时，微机电系统（Micro ElectroMechanical Systems，简称MEMS）技术与医疗生物的结合，将成为一种必然的趋势。MEMS技术是一个将机械
2018-04-19 15:47:443170 智慧农业MEMS技术真是农场主的“神算子”吗？ 农业应用所需的测量和传感大部分依靠微机电系统（MEMS）。MEMS将机械结构与电子相结合，制造出智慧农业传感器、控制器和能量收集器。这些智能传感系统
2018-05-20 00:24:005476 微电子机械系统(MEMS)技术利用IC加工技术实现微纳米尺度加工，在加工精度、加工手段、EDA(计算机辅助设计)等方面具有先天优势，因此石英晶体技术与MEMS技术的结合成为必然趋势。
2018-05-24 17:29:438020 
为了实现核心电场敏感器件“心脏”的微型化，项目组基于MEMS技术，发明了新型的微结构电场传感器，创造性地发展了微型电场传感器及其实际应用，系统地解决了从设计、工艺到应用的关键技术。
2018-06-13 14:19:128505 可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 据麦姆斯咨询报道，为了使医疗市场上超声波换能器更便宜，研究人员开发了聚合物基MEMS技术！
2018-09-17 15:33:524890 据麦姆斯咨询报道，MEMS技术的进步正在引领产品小型化（或者说产品的小型化需求促进了MEMS技术的进步），同时该技术又提高了产品的可靠性、准确性和性能。
2019-05-11 09:28:501873 近年来，受益于MEMS技术，传感器和执行器小型化的同时，性能、功能和灵敏度也得到增强；加上低成本、个性化医疗应用潜力，MEMS器件在医疗和生物领域的应用快速增长。
2018-10-26 15:27:093737 ADI公司MEMS技术和音频处理技术是业内领先的, 而MEMS麦克风是基于MEMS技术的麦克风产品，是音频技术产品中的一类。本视频将为大家介绍ADI公司的MEMS麦克风产品的基础。
2019-07-05 06:18:005293 ADI正在展示其当前的MEMS技术，解决了许多新兴精密农业解决方案面临的关键问题：在恶劣环境下工作时，提供可靠、精确的方向跟踪。
2019-06-24 06:06:001090 源自微电子，MEMS制造的优势在于批处理。就像其它任何产品，MEMS器件规模量产加大了它的经济效益。如同集成电路制造，MEMS制造中光刻方法往往最具成本效益，当然也是最常用的技术。然而，其它处理方式，同时兼具优点和缺点，也在使用，包括化学/物理气相沉积（CVD/ PVD）、外延和干法蚀刻。
2019-08-29 15:10:579161 新纳传感系统有限公司（下称“新纳传感”）今天在SENSOR CHINA2019推出了全新产品 OpenIMU330。作为一款基于MEMS技术的6-DOF三重冗余高精度惯性测量单元
2019-09-12 11:40:004414 8×16端口MCS光开关的结构如图2所示，它包括8个1×16端口的PLC光分路器和16个8×1端口的光开关，光分路器通常以PLC技术制备，而1×N端口光开关通常采用MEMS技术。最常用的是1×8和1×16端口光开关。
2020-01-27 10:32:002597 
MEMS技术无处不在，从每天使用的手机，再到未来的自动驾驶，或者智慧医疗、智慧城市等民生环节，都离不开它。
2020-01-27 17:16:00812 
我国MEMS的研究始于20世纪90年代初，起步并不晚。在八五、九五期间一直得到了科技部、教育部、中国科学院、国家自然科学基金委和原国防科工委的支持。 但是总体上国内MEMS制造技术与国外存在着较大
2020-04-03 15:26:08366 在汽车电子控制系统的快速增长的市场需求下，汽车传感器技术不断发展。未来汽车传感器的发展总体趋势是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工艺制成的新型传感器。MEMS技术传感器成为汽车传感器
2020-04-10 11:13:16409 键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。 生活中有哪些MEMS器件？ 第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。 图.1 加州大
2020-05-16 10:02:262954 微电子技术与机械、光学等领域交叉融合而产生的MEMS 技术，具有小型化、多样化以及可集成化的特点 。 MEMS 技术与RF技术的结合，即RF MEMS 技术，为新一代独特的、高性能滤波器的实现提供了新的机遇。目前人们将 MEMS 技术运用到RF/微波滤波
2020-09-23 10:45:003 微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。
2020-07-10 16:23:202123 MEMS技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路发展起来的一门新技术，经过几代科学家的努力，MEMS如今在不同的行业和不同的领域相继规模化生产，展现了微机电系统及其微系统的巨大应用前景。
2020-07-21 10:39:061519 生物MEMS技术是用MEMS技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器，有一种在衬底上制造出的微型驱动泵、微控制阀、通道网络、样品处理器、混合池、计量、增扩器、反应器、分离器以及检测器等元器件并集成为多功能芯片。
2020-11-10 10:00:313356 简介：本节以truedyne sensor公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器技术相比，MEMS传感器具有许多的优点，例如
2020-12-28 15:42:4019381 MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。
2020-12-25 15:34:494373 随着石油和天然气行业刚刚从长期的低迷期恢复，运营商们对提高井下井智能性、提高技术可靠性、加快钻井速度并降低将井下作业联网成本等有强烈的需求。这些因素共同开创了基于微机电系统（MEMS）的定向钻进传感器技术的新时代。
2020-12-26 01:00:28180 近年来，受益于MEMS技术，传感器和执行器小型化的同时，性能、功能和灵敏度也得到增强；加上低成本、个性化医疗应用潜力，MEMS器件在医疗和生物领域的应用快速增长。
2020-12-26 20:52:47232 电子发烧友网为你提供MEMS技术与移动光谱分析仪资料下载的电子资料下载，更有其他相关的电路图、源代码、课件教程、中文资料、英文资料、参考设计、用户指南、解决方案等资料，希望可以帮助到广大的电子工程师们。
2021-04-14 08:50:2318 USound 公司是一家快速发展的音频公司，研发、生产基于MEMS技术的先进个人应用音频系统。
2021-04-27 14:18:592880 
近日，IC Insights在光电、传感器和分立元器件（O-S-D） 市场调查报告中对全球MEMS市场趋势做了预测。该报告称，在2020年下半年全球半导体产业开始复苏之后，采用MEMS技术制造
2021-06-24 15:33:121486 最新的MEMS技术可实现便携式高清投影显示的创新型应用
2022-11-02 08:16:320 最新MEMS技术实现了便携式HD投影显示的创新型全新应用
2022-11-04 09:50:210 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。
2023-04-25 10:16:40546 
。以上主要主件是微机电系统（MEMS）。MEMS技术驱动传感器变小，而传感器越来越小，使物联网触角延伸得越来越广。MEMS技术是什么？微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到
2021-06-04 15:42:33640 
传感器公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术。更详细的技术干货，带你进一步揭开MEMS技术神秘的面纱。01丨开拓—什么是MEMS技术MEMS的全称，是Micro-E
2021-10-29 18:24:49554 
据麦姆斯咨询报道，近期，群联电子股份有限公司（Phison Electronics）将Frore Systems的基于MEMS技术的AirJet Mini冷却器应用于世界上最快的固态硬盘（SSD）。
2023-08-27 09:36:30933 
元宇宙的实现需要哪些MEMS技术
2023-11-24 17:12:30172 传统电子烟存在许多痛点，而华芯邦的创新型MEMS技术和孔科微电子的电子烟PCBA方案妥善解决了这些问题。华芯邦的MEMS传感器集成咪头电子烟芯片具有高容错率和防粘柱功能，显著提高了口感和使用效率。
2023-12-20 16:05:16369 
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