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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

基于高温退火非极性面氮化铝单晶薄膜实现高性能声学谐振器开发

氮化铝（AlN）以其超宽禁带宽度（~6.2 eV）和直接带隙结构，与氧化镓、氮化硼、金刚石等半导体材料被并称为超宽禁带半导体，与氮化镓、碳化硅等第三代半...

2024-01-08 标签：半导体 mems 谐振器 1.7k 0

调试MEMS加速度计，为什么Y轴和Z轴的MSB输出数据是0xFF？

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2024-01-05 标签：寄存器 mems 调试 1.5k 0

MEMS反射镜应用有哪些？

激光投影仪将移动的光转换为更高级别的信息，用于实际用途，如标志、图形和视频。信息本身可以以矢量图形激光投影（VGLP）模式或光栅模式呈现，而MEMS镜的...

2024-01-05 标签：mems 微机电系统反射镜 2.3k 0

未来十年的传感器发展路线图

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2024-01-03 标签：mems 晶体管微机电系统 2k 0

阻碍智能传感器发展的主要原因！50%的问题都出在这里！什么是MEMS封装？（附58家头部企业名单）

相关资料显示，在 MEMS 系统中发生的可靠性问题 50% 来自封装过程。2001年左右，封装成本占MEMS器件总成本的70%~80% ，使当时M...

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MEMS压阻式压力传感器这些知识你都了解吗

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相较于本征应力，热应力在某些方面是可以化敌为友的。在MEMS热敏感执行器中，基于膜层之间的热膨胀系数差来实现悬臂梁的驱动。在双层膜形成的MEMS热驱动器...

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如何防止数字 MEMS 传感器出现混叠现象

作者：Tom Bocchino, STMicroelectronics 过去十多年来，基于微机电系统 (MEMS) 的设计人员一直选择使用数字式 MEM...

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一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案

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2023-12-29 标签：mems 压力传感器加速度计 1.2k 0

基于微纳结构的MEMS热辐射红外光源技术原理

一些光栅结构也实现了向二维方向的拓展，使TE、TM两个极化方向产生相干的热发射成为可能。如图8所示为SiC交叉狭缝光栅结构示意图及光谱发射图。

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bmp280气压传感器模块例程

BMP280 气压传感器是一种高精度的数字气压传感器，可以用于测量大气压力、温度和高度。它具有低功耗、高线性度和高分辨率的特点，适用于各种应用场景，如天...

2023-12-18 标签：模块 mems 封装 3.6k 0

磁力计LIS2MDL开发(2)----电子罗盘

本文将介绍如何使用 LIS2MDL 传感器来读取数据来转化为指南针。

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磁力计LIS2MDL开发(1)----轮询获取磁力计数据

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陀螺仪LSM6DSV16X与AI集成(4)----Qvar触摸电容配置

Qvar，全称为电荷变化检测（Qvar stands for "Quasi-static VARiation"），是一种用于检测电荷...

2023-12-18 标签：传感器 mems 陀螺仪 2.2k 0

陀螺仪LSM6DSV16X与AI集成(3)----读取融合算法输出的四元数

LSM6DSV16X 特性涉及到的是一种低功耗的传感器融合算法（Sensor Fusion Low Power, SFLP）. 低功耗传感器融合（SF...

2023-12-18 标签：传感器 mems 陀螺仪 2.5k 0

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本文将介绍如何使用 LSM6DSV16X 传感器来读取数据。主要步骤包括初始化传感器接口、验证设备ID、配置传感器的数据输出率和滤波器，以及通过轮询方式...

2023-12-18 标签：传感器 mems 陀螺仪 3k 0

三轴加速度计LIS2DW12开发(3)----检测活动和静止状态

检测活动和静止状态主要用途是在嵌入式应用中实时监控加速度计的活动状态，例如在可穿戴设备、智能手机或安全系统中检测用户的动作或设备的位置变化。通过设置不同...

2023-12-18 标签：mems 加速度计三轴加速度计 2.2k 0

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【器件篇】MEMS气体传感器基础知识详解

许多气体传感器的工作原理是通过将气体分子吸附到金属氧化物（MOS）元件的表面，吸附的气体分子与这种金属氧化物表面相互作用，

2023-12-15 标签：mems 气体传感器 MOS 8.2k 0

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