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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

通过物理气相沉积法生长出高质量、大尺寸的SiC单晶材料

听多了虚拟货币、虚拟现实、虚拟主机……有没有听过虚拟生长？

2017-10-16 标签：mems sic器件 6.6k 0

受益于LED技术的广泛应用，汽车照明市场将以超预期的增长速度在2022年增长至359亿美元

LED技术过去仅在高端汽车使用，并且需要和卤素灯、氙气灯等传统光源竞争。LED改进的性能、更低的功耗以及灵活的设计，是其赢得竞争的主要优势。另外，降低的...

2017-10-16 标签：mems 汽车照明 8.1k 0

华快科技造出超快光纤激光器

作为20世纪最伟大的发明之一，激光器已经走过了50多年，飞秒量级的激光脉冲在20世纪70年代首先在染料激光器中实现。

2017-10-16 标签：mems 激光器 8.7k 0

哪些半导体工艺、细分市场以及激光器类型，将驱动激光设备市场增长？

半导体产业的激光应用越来越广泛且多样化。多种激光技术已经整合进入许多重要的半导体工艺中。

2017-10-16 标签：mems 激光器 9.7k 0

全球首款7轴运动组合传感器ICM-20789

InvenSense这款7轴运动传感器ICM-20789将InvenSense领先的6轴（3轴加速度计+3轴陀螺仪）MEMS运动传感器和其世界级气压传感...

2017-10-16 标签：传感器 mems 9.2k 0

一款可靠且高效的固态LiDAR——大陆集团的SRL1

据麦姆斯咨询介绍，激光雷达SRL1无需任何机械运动部件即可实现正面碰撞检测等应用。SRL1提供基于红外激光技术的紧急制动辅助功能，且已经在微型车上使用。

2017-10-16 标签：mems 大陆集团 1.5万 0

Bosch将关停Akustica子公司

麦姆斯咨询：由于仍没有找到合适的买家或合作伙伴，博世将关停MEMS麦克风子公司Akustica（阿库斯蒂克）。

2017-10-16 标签：mems 5.8k 0

TowerJazz和Crocus合作量产TMR磁传感器

据麦姆斯咨询报道，TowerJazz和TMR磁传感器技术及嵌入式MRAM（磁随机存储器）领先开发商Crocus公司，近日共同宣布双方将利用TowerJa...

2017-10-10 标签：传感器 mems 6.6k 0

MEMS陀螺仪工作原理及创新应用

EMS陀螺仪并不是最早应用在消费电子上的运动传感器，加速度传感器、电子罗盘早先一步进入了消费电子市场。

2017-10-09 标签：传感器 mems 陀螺仪 2.3万 0

MEMS传感器确保汽车“主动安全”

一直以创新为极致追求的村田，早在2012年就通过并购芬兰的MEMS巨头公司VTI，而扩充了MEMS传感器领域产品。

2017-09-28 标签：传感器 mems 5.9k 0

国产8英寸研发中试线工艺能力布局

由上海微技术工业研究院构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式向业界发声，在打造中国完整的“超越摩尔”产业链基础上，旨在进一步推动中...

2017-09-28 标签：mems 7.1k 0

国内暖通制冷领域的领导者盾安

在生产和应用过程中，MEMS压力传感器的缺点也表现地较为突出。例如MEMS晶圆芯体生产工艺相对复杂;在不锈钢充油和倒装焊技术中，中高压封装成本较高等。

2017-09-25 标签：mems 4.2k 0

MEMSMIC1软件包将包含所有软件算法

ST有新的改变喽，比如在OPENMEMS页面下的算法库链接都变成了下面这样，不仅算法种类有了极大的丰富（增加了AC, AW, EC, FA, FX, G...

2017-09-21 标签：mems 4.8k 0

彻底颠覆机电继电器，MEMS开关告诉你怎样实现这一切？

过去30年来，MEMS开关一直被认为是性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz...

2017-09-01 标签：mems 世健系统 MEMS开关 1.5万 0

一文带你深入了解机械耐用、功耗低的MEMS开关

解决大问题需要开创性的技术。机电继电器早在电报问世之初就已存在，但没有其他替代的开关技术可满足所有市场需求——特别是对于测试和测量、通信、防务、医疗保健...

2017-09-01 标签：mems 机电继电器 7.6k 0

看看那些曾经改变世界的芯片

相信你画过很多电路的话，接触过很多芯片的话，应该有些芯片是你觉得历史中最重要的，足以影响整个世界的。

2017-08-31 标签：芯片放大器 mems 1.7万 0

MEMS麦克风技术满足音量市场的性能要求

MEMS麦克风含一个可移动的膜片和静态背板，采用常见的包括沉积和选择性蚀刻的工艺制作在硅晶圆基板上。背板有穿孔，允许空气流通而不引起偏离。膜片的设计是为...

2017-08-30 标签：传感器 mems 语音识别 5.5k 0

新型MEMS加速度计与商用压电(PZT)状态监控加速度计的比较

今天我们将通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

2017-08-29 标签：mems 加速度计 9.3k 0

浅谈MEMS在状态监控领域的优势

作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域...

2018-07-07 标签：传感器 mems 状态监控 1.3k 0

用数据带你了解真正的MEMS加速度计

今天我们将通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

2018-07-07 标签：mems 状态监控 2.9k 0

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