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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种,电流型的灵敏度高,测量范围大,温漂小。但它的输出电流和敏感性能与电极尺寸关系密切。传统的烧结体型器件难于控制电...
具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测,该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节...
目前应用最广泛的麦克风类型是微机电系统(MEMS)电容式麦克风,其主要结构为电容器结构,由背极板、振膜以及背极板和振膜之间的空气域组成。
“要保证动车组高速平稳行驶,首先要由加速度传感器对来自X(轴)、Y(径)和Z(垂)向的应力进行实时监测,并将电信号传输给列车指挥系统。”北京交通大学教授...
压力传感器有多种不同的应用,其中最常见的应用是气象监测。压力传感器现在已非常普遍。它现在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手机里就有一个。你的手机使用压...
随着智能设备的迅猛发展,市场需要更高性能的麦克风,而MEMS可以在紧凑的尺寸内麦克风提供高性能和保真度及可靠性,适用于便携式设备。本文介绍了MEMS麦克...
据麦姆斯咨询报道,气压传感器是一类非常有用的MEMS器件。它们在物联网(IoT)中有非常广泛的应用,从气象监测到室内资产跟踪。
据麦姆斯咨询报道,全球领先的高性能传感器解决方案供应商艾迈斯半导体(ams)宣布推出新版iAQ-Core模块,这是一款用于检测厨房环境中的蒸汽、气味和烟...
意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计,可以在超低功耗和高分辨率之间动态改变工作模式,在有限的功耗预算内实现高精度测量。
近年来,受益于MEMS技术,传感器和执行器小型化的同时,性能、功能和灵敏度也得到增强;加上低成本、个性化医疗应用潜力,MEMS器件在医疗和生物领域的应用...
MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的核心技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列,每一面微镜构成一个单色像素,由微镜下层的寄存器...
在拯救摩尔定律的道路上,人们挖尽心思。从设计角度出发,SoC将系统所需的组件高度集成到一块芯片上。从封装立场看,SiP也踩着七彩祥云回到了人们视野面前。
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