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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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卡西欧早年就以电机马达、继电器等机电产品闻名。如今的卡西欧本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解决传统机械手表遇到的问题是卡西欧的拿手好戏。所...
HA:MEMS包含各种可动元件并且需要各种检测工艺。对于不同的检测工艺通常需要多个步骤,而在产线中具有缩减检测过程的需求。ViSCO实现了这一目标,提供...
当栅极和源极之间的偏置电压超过开关阈值电压时,梁上的触点便接触漏极,源极和漏极之间的电路闭合,开关接通。移除偏置电压后,即栅极上为0V时,悬臂梁像弹簧一...
基于MEMS技术的微型光束操纵器件有望实现更轻、更低成本的激光雷达
“机器人和无人机是绝对可能的应用领域,”Gylfason说,“目前的激光雷达系统对于自动驾驶汽车而言成本过于高昂,而汽车产业对成本非常敏感。其他可能的应...
基于MEMS技术的微型硅基声呐器件提供了毫米级精度的距离传感功能
超低功耗的片上系统(SoC)控制整个ToF处理过程:发送超声波脉冲,将接收的超声回波数字化,检测ToF到最近目标并通过I2C返回16位ToF信号。SoC...
ADI公司推出了一款双轴倾斜计传感器能提供出小于0.1度线性倾斜误差
ADIS16209作为业界最精密的微电子机械系统(MEMS)倾斜计,提供小于0.1度线性倾斜误差的全补偿直接角度输出,从而使其精度提高到至少是同类倾斜传...
美国国家标准技术研究院将采用非接触式光学仪器来检测MEMS的结构
美国国家标准技术研究院把非接触式光学测量仪器连接在一个基于互联网的MEMS计算器上。利用简单有效的光学干涉仪。这个方法使得工程师在光学干涉仪中插入测量值...
在伯克利学习微机电系统工程博士学位期间,Ernest不仅专注于学业,开始专注于射频MEMS。他在黎明时分在MEMS实验室开始他的一天,经常整天待在实验室...
现在,传感器和传感器处理方面的技术发展可实现完全嵌入式自主检测系统的部署,并且能够可靠地对设备缺陷、不平衡、性能变化以及其他异常进行检测和分析,如图1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超声波飞行时间传感器的详细资料说明
基于 MEMS 的微型“硅芯片声呐”装置提供了毫米级精度的距离传感功能,并具有业内最低的功耗。这种 MEMS 超声波传感器可用于距离测量、位置追踪、人员...
最新传感器技术:MEMS陀螺仪在任何情况下都能精确的惯性传感
为了满足这一需求,ADI公司开发了一种带有集成信号调理功能的新型高温MEMS陀螺仪, ADXRS645。该传感器即使在存在冲击和振动的情况下也能实现精确...
2019-04-10 标签:mems 5.3k 0
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