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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

MEMS封装的新趋势

在整个MEMS生态系统中，MEMS封装发展迅速，晶圆级和3D集成越来越重要。

2020-07-21 标签：mems MEMS封装 2.2k 0

MEMS麦克风为中国精密制造产业带来发展机遇

MEMS产品是指尺寸在毫米级甚至微米级的微型机电装置，主要分为微型传感器（如MEMS麦克风和压力传感器）和微型执行器（如MEMS扬声器）两大类。

2020-07-21 标签：mems MEMS麦克风 1.1k 0

MEMS超声波传感器推动AR/VR技术的发展

传感技术通过先进精确的定位/运动检测，帮助用户在虚拟空间中获得现实的体验感。TDK最新的AR/VR系统使用飞行时间（ToF）技术来测量与某个物体的距离，...

2020-07-21 标签：mems 超声波传感器 1.5k 0

基于MEMS技术的理想开关即将开启

二十年前，专门研究射频电路的工程师设想了一种“理想的开关”。这种开关“打开”时，它将具有超低电阻，“关闭”时将具有超高电阻等等。

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 925 0

如何让MEMS标准化

硬件，尤其是MEMS传感器，仍将会是终端装置中不可或缺的部份，但展望未来，软件在为用户带来价值方面也扮演同样重要的角色。

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 1.1k 0

MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺

MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。

2020-07-21 标签：mems PCB设计压力传感器 7.6k 0

MEMS加工技术介绍

传统机械加工方法指利用大机器制造小机器，再利用小机器制造微机器。可以用于加工一些在特殊场合应用的微机械装置，例如微型机械手、微型工作台等。

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 5.6k 0

MEMS技术对半导体行业的影响

MEMS技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路发展起来的一门新技术，经过几代科学家的努力，MEMS如今在不同的行业和不同的领域相继规模化生产，展现了...

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 2.1k 0

MEMS硅晶振与石英晶振区别

MEMS硅晶振采用硅为原材料，采用先进的半导体工艺制造而成。因此在高性能与低成本方面，有明显于石英的优势。

2020-07-17 标签：mems 晶振 3.3k 0

基于DSP的MEMS陀螺误差建模与滤波方法分析

随着微机电和惯性技术的发展，MEMS惯性器件技术越来越成熟，MEMS陀螺以其性能高、尺寸小、能耗低、可靠性高、重量轻、价格低等优点，在低成本姿态测量系统...

2020-07-14 标签：dsp mems 2.7k 0

工业和汽车级MEMS陀螺仪的应用

目前，在陀螺仪应用领域，按精度细分的话，陀螺仪可分为商用陀螺仪、战术陀螺仪、导航陀螺仪、战略陀螺仪。

2020-07-14 标签：mems MEMS陀螺仪 5.1k 0

MEMS在无人系统领域有着巨大的应用潜力

MEMS惯性导航在过去数十年内得到了迅速发展，在无人系统领域内得到了越来越多的应用，其作为未来惯性导航的主要发展方向，正在展现出强大的潜力以及良好的应用前景。

2020-07-14 标签：mems 无人系统 1.1k 0

MEMS传感器的概念

MEMS全称为微型电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来，融合了微...

2020-07-14 标签：mems MEMS传感器 2.6k 0

MEMS超声波传感器的应用分析

增强现实/虚拟现实（AR/VR）系统正在各个领域得到日益广泛的应用，例如在娱乐、教育、医疗保健和其他工业应用中。借助这些技术，用户能够在虚拟空间中模...

2020-07-10 标签：mems 光学传感器超声波传感器 4.5k 0

一文解析MEMS半导体元件

MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行...

2020-07-10 标签：半导体 mems 3.4k 0

基于英飞凌 XENSIV™ MEMS高性能麦克风 IM69D130 语音交互解决方案

谈到边缘AI，落地最成功的产品莫过于智能音箱——从语音拾取，结合语义理解，进而输出反馈，如此实现了完整的语音交互流程。

2020-06-29 标签：英飞凌 mems 语音交互 3.8k 0

应变式传感器的相关特性和应用说明

传感器技术发展很快，生活各方面对传感器技术均有所应用。在往期文章中，小编对传感器技术有所介绍，如视觉传感器技术、图像传感器技术、多传感器融合技术等。为进...

2020-06-27 标签：传感器 MEMS 热电阻 7.9k 0

简单的mems陀螺仪姿态算法介绍

将陀螺仪绕X轴旋转时，只有wx有读数；将陀螺仪绕Y轴旋转时，只有wy有读数；将陀螺仪绕Z轴旋转时，只有wz有读数；

2020-06-05 标签：mems 陀螺仪九轴传感器 8.1k 0

嵌套环MEMS陀螺的发展现状

波音公司提出的嵌套环MEMS陀螺如图2（a）所示，其直径约8mm，环与环之间的间隙较大，可以用来设置内部电极用于驱动、检测或静电修调。该陀螺具有较大的等...

2020-06-01 标签：mems 晶圆 4.1k 0

基于3D MEMS OXC的基本结构与应用范围分析

实现OXC的第二种技术方案是基于MEMS微镜阵列的Cross-Bar光开关，日本东京大学的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年报道...

2020-05-08 标签：开关 mems 8.5k 1

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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