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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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MEMS封装技术主要源于IC封装技术。IC封装技术的发展历程和水平代表了整个封装技术(包括MEMS封装和光电子器件封装)的发展历程及水平。MEMS中的许...
封装的根本目的在于以最小的尺寸和重量、最低的价格和尽可能简单的结构服务于具有特定功能的一组元器件。封装必须提供元器件与外部系统的接口。归纳起来,MEMS...
为了适应MEMS技术的发展,人们开发了许多新的MEMS封装技术和工艺,如阳极键合,硅熔融键合、共晶键合等,已基本建立起自己的封装体系。现在人们通常将ME...
傲睿科技落户于上海,公司依托上海微技术工研院8英寸MEMS工艺线及测试分析平台,整合了国内外相关产业资源,通过自主工艺生产制造和最终产品性能、质量测试,...
基于Mems的应用不断扩大,主要原因是Mems传感器的成本下降,这也得益于8英寸硅片生产的转变。
1、远程查看亮度数据:如家庭家居儿童写字台适宜亮度在300lux以上 2、自动化联动灯具开关:如学校教室环境亮度低于300lux时,自动打开灯光 ...
几乎所有的电子设备都需要频率控制,而传统的石英晶体谐振器主导应用市场几十年,由于市场规模巨大,石英晶体的制造已经达到精湛水准——不乏更小、更薄、频率更高...
低成本的GPS干扰和欺骗技术的可用性使得仅GPS的定位和导航解决方案对于在战场环境中的士兵而言,成为日益危险的选择。
MEMS振荡器、谐振器和时钟产品是计时市场中新的、迅速成长的一部分。这些产品正在取代传统的石英和时钟芯片,它在单芯片上结合了上述两者的功能。不但如此,同...
MEMS传感器行业是一个新兴的行业,在中国商业化的时间不到10年,而在全球也只有20余年的产业化历程。
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