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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

如何为激光雷达开发MEMS技术

为了获得高分辨率数据，可靠地识别小目标，激光必须准直地击中目标，这是通过在激光器前面放置一个透镜来实现的。

2022-06-13 标签：mems 发射器激光雷达 3.9k 0

MEMS和传感器封装解决方案

　　智能模块和/或 SiP 集成是关键，将允许大规模部署连接的设备。为此，价值链中不同参与者之间的早期合作以及简化的供应链非常重要。系统集成商必须开发并...

2022-06-13 标签：传感器 mems SiP 3.6k 0

MEMS器件在真无线立体声耳塞中的应用

我们曾在之前发布的文章《解读MEMS麦克风技术与设计》中指出， MEMS麦克风的需求是由客户所要求的音频功能驱动的，如立体声、语音识别、声音指向性、噪音...

2022-05-27 标签：mems 无线耳塞 2k 0

如何推导电容式MEMS加速度计中使用的传递函数

在本文中，我们将了解如何推导电容式 MEMS 加速度计中使用的质量-弹簧-阻尼系统的传递函数。

2022-04-21 标签：mems 加速度计传递函数 4.1k 0

如何扩展MEMS加速度计的带宽

在本文中，我们将看到低通滤波器可以提高加速度计的噪声性能。我们还将讨论定制陷波滤波器如何扩展 MEMS 加速度计的带宽。

2022-04-21 标签：mems 带宽加速度计 5.5k 0

加速度计的安装方法分享

在本文中，了解安装加速度计的不同方法、它们对加速度计频率响应的影响以及安装MEMS加速度计的解决方案。

2022-04-16 标签：mems 加速度计 7.1k 0

基于双重传感模式的MEMS谐振器设计

在环境监测、医疗诊断和工业产品制造等领域，能够对多种分析物进行选择性检测的高性能气体/化学传感器是近些年研究关注的热点。

2022-04-11 标签：mems 检测谐振器 1.9k 0

如何实现完整的MEMS信号链模拟

现代MEMS传感器解决方案的体积小、集成度高，并且放置在振动源附近，用于测量振动频率。

2022-04-06 标签：mems 连接器运算放大器 2.8k 0

微机械结构硅片的机械减薄研究

本文提出了一种用于实现贯穿芯片互连的包含沟槽和空腔的微机械晶片的减薄方法。通过研磨和抛光成功地使晶圆变薄，直至达到之前通过深度反应离子蚀刻蚀刻的空腔。研...

2022-03-29 标签：集成电路 mems 晶圆 995 0

使用MEMS传感器进行振动监测

振动监测 (VM) 已经问世很长一段时间，并且已被用于监测机器、设备或结构的健康状况。在机器运行过程中，可以利用专用传感器收集其振动数据以对其进行实时监...

2022-03-24 标签：传感器 mems 电动机 5.6k 0

MEMS可调控超材料的演进之路

中山大学电子与信息技术学院林佑昇副教授团队近日在Electronics期刊上发表了一篇综述文章，研究并评估了利用静电驱动(ESA)、电热驱动(ETA)、...

2022-03-21 标签：mems 电磁材料 3.1k 0

原子层沉积（ALD）工艺助力实现PowderMEMS技术平台

Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一项新研发的创新技术，用于在晶圆级上从多种材料中创建三维微结构。该技术基于通过原子层沉积（ALD）...

2022-03-17 标签：mems 工艺 3.2k 0

应用高级传感器和算法进行低成本运动跟踪

高性能运动跟踪技术已经从深奥的军事、航空电子设备、海洋和工业应用迁移到不断扩大的消费应用范围。尽管如此，将高性能运动跟踪引入消费市场通常会迫使设计人员协...

2021-12-20 标签：传感器 mcu mems 5.6k 0

使用LTspice进行工程电源和MEMS信号链模拟

现代MEMS传感器解决方案的体积小、集成度高，并且放置在振动源附近，用于测量振动频率。频率随时间的变化表明振动源（电机、发电机等）存在问题。

2021-11-19 标签：adi mems 运算放大器 5.5k 0

使用MEMS振荡器代替晶体谐振器的 8 大理由（三）

5. MEMS 振荡器对 EMI 的敏感度要低得多电磁能在大多数系统中很常见，可以通过将晶体谐振器连接到包含振荡器电路的 IC 的暴露 PCB ...

2021-11-04 标签：pcb 振荡器 mems 4.1k 0

SiTime MEMS振荡器的可靠性计算

1 简介半导体组件有望在产品的整个生命周期内可靠地运行。选择具有最高可靠性等级的设备可以限制故障组件导致现场产品出现故障的可能性。 SiTime 提...

2021-10-27 标签：半导体振荡器 mems 994 0

SiTime高性能MEMS时钟方案在5G中的应用

一、什么是5G 5G是第五代移动通信技术（5th-Generation）的简称，是新一代的蜂窝移动通信技术，也是继4G、3G、2G系统之后的延伸，5G的...

2021-10-27 标签：电子元器件 mems 有源晶振 1.6k 0

不同类型时钟产品的特性及选择时应该注意哪些

电子发烧友网报道（文/程文智）不论我们设计的电子产品是应用在云计算、无线LTE、数据中心，还是物联网、汽车、医疗保健，或者是航空航天等领域，系统内必然需...

2021-09-08 标签：以太网振荡器 mems 6.9k 0

DelfMEMS的射频MEMS开关解决方案

DelfMEMS开关已经成为典型的LTE-A射频前端的理想解决方案，因为这时的低插损是关键。高的插损将直接负面影响智能手机的电池寿命，并降低接收灵敏度，...

2021-06-29 标签：智能手机射频 mems 3k 0

基于GPS/MEMS组合芯片实现高精度定位解决方案

在过去十年中，GPS定位已经从主要由专业人员使用的专用高端技术转变为消费者日常使用的一种技术。这种转变是具有GPS功能的两代器件在大众化设备中普及GPS...

2021-06-28 标签：芯片 mems gps 4.3k 0

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
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