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euv

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EUV光刻技术 - 即将在芯片上绘制微小特征的下一代技术 – 原来是预计在2012年左右投产。但是几年过去了,EUV已经遇到了一些延迟,将技术从一个节点推向下一个阶段,本单元详细介绍了EUV光刻机,EUV光刻机技术的技术应用,EUV光刻机的技术、市场问题,国产euv光刻机发展等内容。

文章:599 浏览:88512 帖子:0

euv技术

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超快光谱学和半导体光刻领域皆依赖于非常短的波长,往往在极紫外extreme ultraviolet,EUV波段。然而,大多数光学材料强烈地吸收该波长范围...

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深度解析EUV光刻工艺技术

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浅谈高数值孔径EUV系统的好处

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2022-06-22 标签:英特尔EUV 3.4k 0

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2022-05-07 标签:光刻EUV 4.9k 0

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