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标签 > 微机电系统
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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MEMS发展迅速,Yole Development预计2023年市场规模超300亿美元
MEMS 产业链一般由芯片设计企业、晶圆制造厂商、封装测试厂商和终端应用企业构成,芯片设计企业专注于 MEMS 芯片及其产品结构的设计,完成设计后交由第...
1969年,美国的Wallis和Pomerantz两位研究人员首次提出了阳极键合技术,其键合方法如图1所示。阳极键合目前在硅片与玻璃键合中得到了较为广泛...
微流控技术最初源自于微机电系统(micro-electromechanical system, MEMS)在微量流体操控方面的研究,形成于20世纪90年...
MEMS电容式加速度传感器(简介) MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,与传统的传感器相比,它具有体积小、...
微机电设备的尺寸通常在20微米到一毫米之间,它们内部通常包含一个微处理器和若干获取外界信息的微型传感器。
MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一,如果半导体微制造被视为第一次微制造革命,MEMS则是第二次革命。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术,ME...
成熟的供应链以及设计和制造基础设施,结合成功的商业化背景和更广阔的市场需求,为MEMS领域的初创公司提供了一个充满活力的发展环境。
USound推基于微机电系统(MEMS)的对患者安全的扬声器
为个人设备和可穿戴技术开发微机电系统(MEMS)扬声器的全球性公司USound宣布进军健康科技行业,将推出完全适用于磁共振成像兼容耳机和配件的MEMS扬...
微机电系统,英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写),其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械...
微机电系统,英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写),其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械...
9月4日消息,液晶背光模块厂中光电宣布,已于7月底新设100%持股子公司中光电智能感测,并于9月初完成收购智动全球(Global MEMS)微机电系统(...
9月5日电,瑞典查尔姆斯理工大学(KTH)的研究人员利用高导电性纳米材料石墨烯,研制出了迄今最小的加速传感器。这一设备有望促进人体传感器和导航技术的发展...
Gyration的空中运动控制器可以把人手的自然运动立即转换成显示器屏幕上的动作,能够对人手在位置和方向上的变化做出精确的反应。除采用ST的微机电系统(...
MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适...
微机电系统(MEMS)压力传感器是一种基于微纳技术的传感器,可广泛应用于各个领域。本文将探讨MEMS压力传感器的主要应用领域有哪些,包括汽车工业、医疗保...
MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置,是一个独立的智能系统,主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
Evonetix与ADI公司合作开发基于微机电系统(MEMS)的硅芯片
EVONETIX LTD(“Evonetix”)——从事可扩展、高保真度和快速基因合成桌面平台开发的合成生物公司,日前宣布与全球领先的高性能模拟技术公司...
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