单粒子与总剂量辐射损伤机制与芯片抗辐照设计

一、辐射环境与威胁来源

辐射环境是导致电子器件性能退化甚至失效的关键外部因素，其空间分布与粒子类型具有显著差异性，对不同应用场景下的芯片可靠性构成差异化威胁。深入解析辐射环境的构成与威胁来源，是开展抗辐照设计与防护的前提。

（一）空间辐射环境

空间辐射主要由银河宇宙射线（GCR）、太阳高能粒子（SEP）及二者与大气作用产生的次级粒子构成，覆盖从低地球轨道到深空的广阔区域，对航天器电子系统构成持续性、突发性双重威胁。

银河宇宙射线作为太阳系外起源的高能带电粒子流，成分以轻核为主：质子占比约 84%，α 粒子（氦核）占比约 14%，剩余 2% 为碳、氧、铁等重核（原子序数 Z≥6）。这些粒子经超新星爆发、星际激波等极端天体物理过程加速，能量可达 10²⁰ eV 以上，具备穿透航天器舱体的能力。尽管其通量较低（约 1-10 粒子 /(cm²・s)），但高能量特性使其能直接作用于芯片内部，既会引发瞬时单粒子效应，也会通过长期能量沉积导致总剂量累积损伤。例如，铁重核在硅材料中可形成高密度电离轨迹，极易触发单粒子闩锁（SEL）等致命故障。

太阳高能粒子是太阳活动（太阳耀斑、日冕物质抛射）释放的高能带电粒子，成分以质子为主（占比 > 90%），其次为 α 粒子与少量重核，能量范围集中在 1 MeV-10 GeV。其显著特征是通量的强时间依赖性：太阳活动峰年（每 11 年一个周期）时，粒子通量较谷年可提升 1-3 个数量级，形成短时间强辐射脉冲。这种突发性辐射会对航天器电子器件造成 “冲击式” 损伤，例如 2003 年太阳风暴期间，多颗卫星因太阳高能粒子引发的单粒子效应出现数据丢失、设备宕机。

当银河宇宙射线与太阳高能粒子穿透地球大气层时，会与大气中的氮、氧原子核发生核反应（弹性散射、核裂变等），产生次级粒子场，包括中子、质子、电子及轻核碎片。其中，次级中子能量覆盖热中子（<0.025 eV）至快中子（>1 MeV），虽 LET 值较低，但可通过与硅原子核碰撞产生高 LET 反冲硅核，进而诱发单粒子效应。同时，海拔高度直接影响次级粒子通量：高空（如 10km 海拔）的次级中子通量是地面的 100 倍以上，这也是高空航空器电子系统需强化抗辐照设计的核心原因。

图1大气辐射环境示意图

（二）地面辐射环境

地面辐射环境强度虽低于空间，但特定场景下的辐射仍会对长寿命、高可靠电子系统（如核电站控制单元、高能物理实验装置）构成威胁，其主要来源包括核设施泄漏、封装材料放射性杂质及大气次级中子。

核设施（核电站反应堆、核废料处理厂）在运行或退役过程中，会释放中子、γ 射线、β 射线等辐射。反应堆核心区域中子通量可达 10¹⁵中子 /(cm²・s)，即便经混凝土屏蔽层衰减，泄漏的快中子仍可能对周边电子设备产生影响；γ 射线的强穿透性则会导致芯片氧化层电荷累积，引发总剂量效应。例如，核电站安全级控制器若长期处于 γ 射线辐射下，可能因氧化层正电荷积累导致阈值电压漂移，进而出现控制逻辑延迟。

电子器件封装材料（陶瓷外壳、粘接剂、焊料）中，可能含微量铀（U-238）、钍（Th-232）及其衰变子体（镭 - 226、氡 - 222）。这些杂质通过 α 衰变释放 α 粒子（能量 4-8 MeV），LET 值可达 10-100 MeV・cm²/mg，可在芯片敏感区域沉积大量电荷。研究表明，若陶瓷封装中铀、钍含量超过 10⁻¹² g/g，存储芯片的单粒子翻转（SEU）错误率会上升一个数量级，对需要长期稳定存储数据的设备（如核电站数据记录仪）构成隐患。

大气次级中子是地面环境诱发单粒子效应的主要因素，其通量约为 10⁻²-10⁰中子 /(cm²・s)，能量峰值集中在 1-100 MeV。对于深亚微米工艺芯片（如 CMOS 节点 < 45 nm），敏感区域体积缩小（<10⁻¹⁶ cm³）、临界电荷降低（<10⁻¹⁶ C），即便低通量快中子也可能引发单粒子瞬态（SET）—— 错误脉冲若超过电路时序容限，会导致逻辑错误。例如，商用微控制器在地面长期运行时，约 30% 的未知逻辑错误与大气中子诱发的 SET 相关。

二、损伤核心物理量

辐射对电子器件的损伤本质是粒子在材料中沉积能量并引发物理化学变化，线性能量转移（LET）与吸收剂量是定量描述损伤强度的核心物理量，分别对应 “瞬时局部损伤” 与“长期累积损伤”，二者共同决定器件的辐射响应特性。

线性能量转移（Linear Energy Transfer, LET）定义为带电粒子在单位路径长度上向介质转移的能量，单位为 MeV・cm²/mg，其值直接反映粒子电离损伤的强度：质子LET随能量上升而下降，低能质子损伤更强。

图2质子和电子 LET 值随粒子能量变化示

吸收剂量（Absorbed Dose）定义为单位质量介质吸收的辐射能量，单位为拉德（rad）或戈瑞（Gy）（1 Gy=100 rad），是表征总剂量效应的核心参数，直接反映器件累积的能量损伤，其大小与辐射类型、照射时间、介质特性相关。硅材料中1 Mrad ≈ 10¹⁵陷阱/cm³

三、总剂量效应：累积性退化

总剂量效应是高能粒子长期照射导致器件材料（核心为 SiO₂层）发生累积性物理化学变化，进而引发电性能退化的现象，其本质是氧化层电荷陷阱与界面态的形成，对 MOS 器件、功率器件等的性能与寿命构成严重威胁。

损伤过程：高能粒子电离SiO₂→产生电子-空穴对→空穴被深能级陷阱俘获。

图3电离总剂量损伤的主要过程

退化表现：正电荷积累→阈值电压负漂、泄漏电流上升。

图4固定氧化物俘获电荷对晶体管转移特

四、单粒子效应：瞬时灾难

单粒子效应（Single Event Effect, SEE）是高能粒子（重离子、快中子）在器件敏感区域瞬时沉积大量能量，形成高密度电荷团，引发的突发性电路故障。与总剂量效应的累积性不同，SEE 具有瞬时性、随机性，可能导致逻辑翻转、电流闩锁甚至器件烧毁，是高辐射环境电子系统的重大安全隐患。

中子作用机制：大气中子轰击硅原子→核反应产生高LET碎片→局部电荷沉积。

图5单粒子效应机制示意图

单粒子闩锁（SEL）：瞬态电流激活CMOS寄生PNPN结构→正反馈大电流→器件烧毁。

图6 CMOS 器件可控硅结构

五、解决方案：低成本抗辐照芯片

针对商业航天、核电站等高辐射场景的 “高可靠 + 低成本” 需求，抗辐照加固的芯片可以抵御单粒子和总剂量效应问题，国内芯片公司国科安芯推出一系列抗辐照MCU、DCDC电源、CANFD接口等低成本芯片，解决商业航天、核电站等既有抗辐照高可靠要求又对成本限制苛刻的矛盾，该系列芯片已经通过质子试验、总剂量试验、重离子试验等，部分型号已经上天在轨运行。

图7 ASM1042总剂量效应试验报告

试验结论：ASM1042S 在受到 150Krad(si)的总剂量照射后，其关键电参数，包括但不限于阈值电压、漏电流、电容等，未显示出超出预期范围的变化。此外，在试验过程中，器件的关键性能指标保持稳定，无明显性能退化迹象。

图8 ASM1042重离子试验报告

试验结论：ASM1042S在LET值为 37MeV·cm2mg-1时，未出现单粒子效应。该芯片表现出优异的抗单粒子效应能力，适用于高辐射环境。

图9 ASM1042在轨应用证明

审核编辑 黄宇