泽攸科技 | 国产台阶仪和进口台阶仪相比，各有什么优势？-电子发烧友网

在全球精密测量设备市场中，台阶仪作为微纳形貌检测的核心工具，长期被进口品牌主导。然而，随着国产技术的突破，以泽攸科技为代表的国产台阶仪凭借“高精度、高性价比、强服务”等优势，正加速抢占市场。本文将从技术、成本、服务等维度，深度解析国产（以泽攸科技为例）与进口台阶仪的核心差异，为行业用户提供选型参考。

一、核心技术：国产自研突破“卡脖子”，部分指标反超进口

台阶仪的核心竞争力在于测量精度与稳定性，而这依赖于传感器、扫描系统、力控技术等底层技术。

国产台阶仪（泽攸）：自主创新，掌握核心科技

泽攸科技作为国内高端台阶仪研发领军企业，其JS系列（如JS10C，JS100C等）搭载多项自研技术，部分指标已达到或超越进口水平：

双LVDT传感器技术：泽攸采用自主研发的LVDT（线性可变差动变压器）传感器，兼具力控与位移检测功能。其中，LVDT传感器1用于检测弹簧形变量以精准计算探针压力（恒力范围0.5~50mg），LVDT传感器2反馈压电陶瓷位移以确定台阶高度，双传感器协同工作使重复性测量偏差低至≤0.5nm（基于10μm标准块重复扫描30次测试结果），线性度偏差仅千分之一以内。这一技术突破了进口设备依赖单一传感器的技术瓶颈，大幅提升测量稳定性。
高分辨率扫描系统：泽攸台阶仪垂直分辨率达0.05nm满量程（全量程），水平分辨率亚微米级，可捕捉纳米级表面起伏（如晶圆氧化层粗糙度、MEMS器件曲率半径）。相比之下，部分进口设备的垂直分辨率多为0.1nm级，且在软质材料（如有机薄膜）测量中易因探针压力波动导致数据偏差。
主动聚焦与双导航影像：泽攸全自动型号（如JS2000B）配备正视/侧视高像素彩色相机，支持主动聚焦技术（对比进口设备的“手动聚焦”更高效），可在扫描前快速定位样品测试点，扫描中实时观察探针与样品接触状态，避免因离焦或偏移导致的测量误差。

进口台阶仪：品牌积淀深厚，但技术迭代较慢

进口品牌凭借数十年技术积累，在部分成熟场景（如传统半导体晶圆检测）中仍占据优势，但其技术迭代速度较慢。例如，多数进口设备仍采用“杠杆式检测方案”（通过电容传感器反馈位移/线圈补偿力），而泽攸已普及“直动式检测方案”（探针LVDT反馈力+微动台控力），后者在重复性（≤0.5nm vs 进口0.6~1nm）和长期稳定性上更具优势。

二、成本与服务：国产台阶仪“降本增效”，本土化优势显著

除技术外，成本与服务是企业选型的关键考量。

国产台阶仪（泽攸）：高性价比，全周期服务降低门槛

价格优势明显：泽攸JS系列台阶仪（如JS2000C全自动型号）价格仅为同规格进口设备的60%~70%，半自动/手动型号（如JS100C、JS10C）价格优势更显著（约为进口的50%）。对于预算有限的中小企业或科研机构，这一成本差异可直接转化为研发投入的增加。
服务响应更快：泽攸提供“24小时技术响应+免费上门培训”服务，相比进口设备普遍“48小时响应+需第三方支持”的模式，能更快解决设备故障或操作问题。例如，某半导体厂商反馈，其使用的进口台阶仪曾因探针卡滞停机3天，而泽攸设备同类问题可在2小时内远程解决。
灵活的试用与升级方案：泽攸支持“租赁试用”（降低中小客户初期投入）和“探针组件升级”（如JS系列可通过更换探针组件扩展量程至1mm），而进口设备升级通常需返厂改造，成本高且周期长（约1~2个月）。

进口台阶仪：服务网络完善，但本土化适配不足

进口品牌虽在全球设有服务网点，但在中国市场的本地化支持仍存在短板。例如，部分进口设备的软件界面仅支持英文，且针对中国客户需求的定制化功能（如太阳能薄膜、钙钛矿等新兴材料的测量模式）开发滞后。而泽攸已针对国内半导体、新能源、材料科学等领域推出专用测量方案（如锡基钙钛矿薄膜厚度测量、MEMS器件3D扫描），软件支持中文界面与多格式数据导出（ASC、CSV），更贴合本土用户习惯。

三、应用适配：国产台阶仪“精准覆盖”，新兴领域优势凸显

随着新能源（钙钛矿）、MEMS、生物医疗等新兴领域的崛起，市场对台阶仪的“场景适配性”提出更高要求。

国产台阶仪（泽攸）：定制化方案，精准匹配新兴需求

泽攸JS系列通过模块化设计，可快速适配不同场景：

半导体制造：支持2D/3D台阶高度（20~160μm）、粗糙度（Ra 0.01~100nm）、薄膜应力测量，兼容6寸~12寸晶圆，满足晶圆抛光工艺（CMP）效果评估需求。
新能源材料：在锡基钙钛矿、准二维钙钛矿研究中，泽攸台阶仪可精确测量35~40nm超薄薄膜厚度（如文档4中复旦团队的实验），并通过3D扫描分析表面缺陷，助力器件迁移率（>60 cm² V⁻¹ s⁻¹）提升。
MEMS与生物医疗：采用亚微米级探针（曲率半径≤1μm），可测量微米/纳米级结构表面波纹（如MEMS陀螺仪）及人工关节微观形貌，避免探针损伤样品。