台阶仪在大面积硬质涂层的应用：精准表征形貌与蚀刻 / 沉积结构参数

PVD 硬质涂层的表面形貌直接影响其摩擦学、润湿性等功能性能，而精准表征形貌特征是优化涂层工艺的关键。台阶仪因可实现大扫描面积的三维形貌成像与粗糙度量化，成为研究 PVD 涂层形貌的核心工具。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。

本文以台阶仪为主要测试手段，结合四种工业 PVD 系统（低压电子束蒸发、磁控溅射等），探究基材预处理（机械抛光、离子蚀刻）、沉积工艺（旋转方式、装料配置）及生长缺陷对涂层表面形貌的影响，通过台阶仪数据揭示 PVD 硬质涂层形貌的形成机制，为涂层性能优化提供数据支撑。

台阶仪作为关键计量工具，在本研究中实现了对PVD涂层表面形貌的定量化、跨尺度分析，揭示了离子蚀刻不均匀性、生长缺陷分布及旋转模式对表面粗糙度的显著影响。其提供的高精度台阶高度与粗糙度数据，为优化PVD工艺以制备高性能硬涂层提供了直接依据，尤其在精密加工行业中具有重要的质量控制与性能预测价值。

Flexfilm探针式台阶仪

flexfilm

在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域，表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值，尤其是台阶高度是一个重要的参数，对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制，是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。

• 配备500W像素高分辨率彩色摄像机
• 亚埃级分辨率，台阶高度重复性1nm
• 360°旋转θ平台结合Z轴升降平台
• 超微力恒力传感器保证无接触损伤精准测量

费曼仪器作为国内领先的薄膜厚度测量技术解决方案提供商，Flexfilm探针式台阶仪可以对薄膜表面台阶高度、膜厚进行准确测量，保证材料质量、提高生产效率。

原文参考：《Surface Topography of PVD Hard Coatings》

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