SMI推出SM933X系列超低MEMS压力传感器系统

Silicon Microstructures, Inc.（SMI）推出了SM933X系列超低MEMS压力传感器系统。这款完全温度补偿和压力校准的系列压力传感器，压力范围低至125 Pa（0.50 inH2O），能够为HVAC（暖通空调）、工业和医疗应用提供精准的压力传感。SMI通过将其独有的MEMS压力换能器和最先进的信号调理IC整合在一个封装中，实现了行业领先的输出精度（1%FS）和长期稳定性。

SMI差压传感器在医疗领域的应用

该系列差压传感器系统提供两种配置：压力范围为+/- 125 Pa（0.50 inH2O）的SM9333，以及压力范围为+/- 250 Pa（1 inH2O）的SM9336。其16位分辨率能够解析低至0.0038 Pa的信号。此外，其卓越的预热性能和长期稳定性，进一步确保了使用寿命内的预期性能。

SMI新款SM933X系列超低MEMS压力传感器的性能优势SM933X系统供电电压范围为3.0~5.5 V，凭借其低电流消耗和睡眠模式，非常适合低功耗应用。其ASIC架构和更高阶的滤噪功能，提供了低噪声和极低的EMI敏感度。采用具有双垂直端口的小型SO16封装，使其便于系统集成和压力连接，此外，其MEMS传感器本身爆裂压力高，坚固耐用，几乎没有安装或振动敏感度。主要应用：HVAC、CPAP以及压力变送器SM933X系列传感器是流量传感应用的最佳解决方案，无论管道长度如何，均可提供卓越的高性能表现，且不受气流中的颗粒物影响。它非常适于作为HVAC传感器，确定可变风量（VAV）中的空气流量，以及检测过滤器的清洁度（例如空气处理单元AHU中的过滤器）。在医疗应用市场，超低压力传感器常用于CPAP（持续正压通气，呼吸机）流量传感。SM933X系列传感器凭借对安装方向不敏感，以及高分辨率和低噪声性能，使其更易于在CPAP流量传感器中集成和使用。

此外，SM933X系列传感器改进了工业应用中的压力测量，利用一个小型封装中的单个传感器系统，替代了昂贵、笨重的多组件设备，并提供了长期的稳定性。其主要应用包括压力变送器和压力开关。“SMI从90年代中期开始一直处于MEMS低压传感器领域的领先位置，凭借SM933X系列的推出，该公司希望在该领域继续领先下一个十年，”SMI总裁兼首席执行官Omar Abed说，“我们收到了来自主要客户的非常积极的反馈，我们相信这一新产品系列的推出，将为2 inH2O以下超低压力传感器树立新的标杆，并在医疗和工业领域的流量和超低压应用中引入新一波创新浪潮。

”关于Silicon MicrostructuresSilicon Microstructures是Elmos全球半导体集团的成员企业，该公司基于特定应用的IC、传感器和完整的微系统，为各行各业提供经过市场验证的解决方案。Silicon Microstructures通过了ISO相关认证，是一家MEMS压力传感器主要开发商和制造商，服务各类市场超过25年。Silicon Microstructures的设计、生产和质量控制流程，使其能够开发当今市场上最灵敏、最小的MEMS压力传感器。