揭秘 Sensofar CSI 白光干涉是如何运作的？
为了测量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通过干涉技术，可在任何放大倍率下实现相同的系统噪声，它可实现优于 0.01 nm 的系统噪声。
干涉工作原理
干涉技术的工作原理是：将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉。干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作；焦点对准后，可在样本上观察到条纹。
CSI （白光干涉）使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均达到 1 nm 的高度分辨率。
采用干涉法，3D 测量能以高精度进行。可沿 Z 轴扫描，在整个样本上获得条纹，用获取的不同像素的高度重新构建 3D 图像。
如需了解详细情况，请咨询邱经理17701039158（同微信）。
审核编辑 黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
CSI
+关注
关注
1文章
38浏览量
51712
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
基于干涉的光学测试系统
为了对结构表面进行高精度检查（通常用于半导体行业），可以使用基于干涉效应的光学测试系统。对这些设置的完整模拟需要包括所有物理光学效应，如结构处的衍射、相干性以及在图像平面上产生的干涉。为了帮助光学
发表于 04-08 08:42
共聚焦显微镜与白光干涉仪的区别解析
在微观形貌表征与三维精密测量领域，白光干涉仪和共聚焦显微镜作为两种核心的非接触式光学仪器，被广泛应用于材料科学、半导体制造及生命科学研究中。尽管二者均能实现表面形貌的重建，但基于截然不同的光学
PLC平面光波导的图形凹槽深度测量-3D白光干涉仪应用
，过深会破坏波导芯层完整性，过浅则无法实现光信号的有效约束与隔离，直接影响器件性能。传统凹槽深度测量方法存在测量范围有限、易损伤器件表面等缺陷，难以满足PLC高精度检测需求。3D白光干涉仪凭借非接触测量特性、纳米级分辨率及全域
以设计铸品质！优可测白光干涉仪AM-8000荣膺2025德国红点奖
优可测白光干涉仪AM-8000打破了传统精密仪器“轻设计” 的固有认知，凭借技术沉淀与创新设计，斩获2025德国红点奖！
白光干涉仪在晶圆深腐蚀沟槽的 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在晶圆深腐蚀沟槽 3D 轮廓测量中的应用，分析其工作原理及适配深腐蚀沟槽特征的技术优势，通过实际案例验证测量精度，为晶圆深腐蚀工艺的质量控制与器件性能优化提供技术支持
白光干涉仪在肖特基二极管晶圆的深沟槽 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在肖特基二极管晶圆深沟槽 3D 轮廓测量中的应用，分析其工作原理及适配深沟槽结构的技术优势，通过实际案例验证其测量精度，为肖特基二极管晶圆深沟槽制造的质量控制与性能优化提供
白光干涉仪与激光干涉仪的区别及应用解析
在精密测量领域，干涉仪作为基于光的干涉原理实现高精度检测的仪器，被广泛应用于工业制造、科研实验等场景。其中，白光干涉仪与激光干涉仪是两类具有
白光干涉仪与原子力显微镜测试粗糙度的区别解析
表面粗糙度作为衡量材料表面微观形貌的关键指标，其精准测量在精密制造、材料科学等领域具有重要意义。白光干涉仪与原子力显微镜（AFM）是两类常用的粗糙度测试工具，二者基于不同的测量原理，在测试范围、精度及适用性上存在显著差异。明确这些差异对于选择合适的测量方法、保障数据可靠性
一文读懂：白光干涉仪vs共聚焦显微镜的优劣势差异
在半导体、锂电、光伏、航空航天等高端制造领域，高精度光学测量技术是把控产品质量、优化生产工艺的核心支撑，直接关系到产业升级与技术创新进程。白光干涉仪与共聚焦显微镜是高端制造常用核心测量设备，白光
扫描白光干涉术在高精度表面测量中的应用
扫描白光干涉术（SWLI）是目前最精确的表面形貌测量技术之一，被广泛应用于工业与科研领域。从发明至今的三十余年间，在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下，该技术不断取得新的进展
探索扫描白光干涉术：校准、误差补偿与高精度测量技术
扫描白光干涉术的快速发展，在制造业与科研领域的广泛应用中得到了验证，某种程度上成为了高精度表面形貌测量技术的标杆，尤其在半导体、精密光学、消费电子等产业的牵引下,其测量功能和性能得到持续提升。本期美
白光色散干涉：实现薄膜表面轮廓和膜厚的高精度测量
法和白光扫描干涉法等，虽然在一定程度上能够满足测量需求，但存在一些局限性。针对这些现有技术的不足，本文提出了一种基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度测量系统。该系统
引进白光干涉仪管控微流控芯片形貌，性能大幅提升
白光干涉仪纳米级管控微流控芯片表面粗糙度，以及微流道高度和宽度，提升微流控产品性能与质量，满足不同客户需求。
FRED应用：天文光干涉仪
干涉仪中光线的光程差会随着角度的增大而增大。探测器上生成的干涉图样的一些例子如图2所示。
图2.左：角度范围为1弧秒的恒星在探测器上的白光干涉图样，
发表于 04-29 08:52
评论