是德科技发布3kV高压晶圆测试系统,专为功率半导体设计

是德科技（Keysight Technologies， Inc.）近期发布了一款名为4881HV的高压晶圆测试系统，进一步丰富了其半导体测试产品线。该系统能够在单次测试中高效地覆盖从低压到高达3kV的高压参数测试，显著提升了功率半导体制造商的生产效率。

以往，制造商在测试晶圆时，需要分别使用高压和低压测试设备。然而，随着市场对多功能、高性能功率半导体以及新一代半导体器件如碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）的需求快速增长，客户急需一种能更准确、高效地测试设备并缩短产品上市时间的解决方案。

是德科技的这款新测试系统正是为了解决这些挑战而设计的。它允许功率器件制造商在生产过程中执行PCM和WAT操作。这款全新的测试系统具备以下显著优势：

首先，其高压性能满足了未来需求。高压开关矩阵（HV-SWM）可支持高达3kV的测试要求，并可扩展至29个引脚，同时与精密的源测量单元（SMU）实现无缝集成。这一特性使得系统能够在任何引脚上实现从低电流到亚皮安（pA）级分辨率，直至3kV高压的灵活测试。此外，该系统还支持高压电容测量和各种参数测试。

其次，一次性测试提高了生产效率。HV-SWM允许使用单一的测试系统替代传统的高压和低压测试系统组合，不仅提高了工作效率，还显著减少了测试所需的场地和时间。同时，该系统通过与是德科技的SPECS-FA软件无缝集成，进一步提升了整体生产流程的效率。

最后，该系统具备更高的安全性和可靠性。测试系统内置了保护电路和机器控制措施，确保操作人员和设备在测试过程中不会受到高压浪涌的影响。同时，该系统还严格遵循包括SEMI S2标准在内的各项安全法规，确保使用过程中的安全性与可靠性。

是德科技晶圆测试解决方案业务副总裁兼总经理Shinji Terasawa表示：“是德科技在测试先进半导体方面有着丰富的经验，我们很高兴推出这款全新的功率半导体晶圆测试系统。我们的使命是通过提供前沿的解决方案，不断满足半导体行业快速变化的需求，并引领市场的发展。这一创新成果体现了我们对行业的坚定承诺。”