北方华创公开“半导体设备及磁控管组件”专利
近日，北京北方华创微电子装备有限公司的“半导体设备及其磁控管组件”专利正式公布，申请日期为2024年5月7日，编号为CN117995642A。
该发明涉及半导体工艺技术领域，提出的磁控管组件包括至少两个滑槽，滑槽两端分别位于两个不同直径的圆周上，并与转盘径向呈一定夹角。每个滑槽内置有一个或者多个磁控管或配重，在滑槽中随转盘旋转而自由移动。同时，专利还介绍了限位件通过转轴与转盘相连，并有多个限位槽与滑槽相对应，以固定相应的磁控管或配重。
此项技术方案能够实现磁控管在靶材边缘及内侧两个位置间的切换和旋转，具有结构简单、运动轨迹清晰、易于操控、使用寿命长以及可靠性高的优势。
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