半导体气体监测仪数据采集远程监控系统解决方案

目前芯片蚀刻是我国半导体行业的关键技术之一，芯片蚀刻主要是利用化学反应来蚀刻掉芯片表面不需要的部分，以实现芯片电路的制造。在半导体生产中会涉及到很多特殊气体，而多数都有毒性和腐蚀性，如氯化氢、溴化氢、氟化氢等。

如何及时准确地检测到有害气体超标并快速告警，对于确保生产环境的安全和员工的生命健康具有重要作用，需要在现场部署有害气体监测仪来实现24小时不间断连续实时在线监测。对此，物通博联提供基于工业物联网的解决方案，助力实现工厂内各种有害气体监测仪的数据采集与远程监控，从而增强安全管理水平与响应能力。

根据国家政策标砖与行业生产要求，通常要求在抽风口或环境点安装有害气体监测仪，并接入自动控制系统PLC实现通风排期设备的相互互锁动作，出现异常快速关闭所有气源。其中设备运行状态对于是否快速响应至关重要。

因此，通过将物通博联工业智能网关部署在抽风口和环境点中，接入有害气体监测仪、PLC中，进行实时数据采集并上传到本地上位机或云平台中，构建实时高效的通信网络，能够监测有害气体超标并快速报警，从而采取措施及时管理控制，确保生产安全与生命安全。

企业预定设定报警阈值与通知方式，当网关采集到异常超标数据时就能自动报警并通过微信、短信、邮件、声光等方式进行通知，从而提醒工作人员及时采取措施管理控制，通过停机停工、启停风机等行动去保护自身，避免因人工监测误差而导致的意外事故。

此外，通过实时数据与历史数据的比较分析，结合运维工作经验，合理调整设备运维周期与生产习惯，确保巡检、维护等工单工作有序开展，更能借助数据分析实现预测性维护，更进一步增强安全管理水平，防患于未然。

审核编辑 黄宇