广州增芯12英寸MEMS芯片量产线搬入光刻机，顺利进入调试投产准备阶段

据传感器专家网获悉，3月11日，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目在广州增城开发区举行光刻机搬入活动，标志着增芯项目顺利进入调试投产准备阶段。

据悉，增芯项目是省、市重点项目，打造国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。增芯项目占地面积达370亩，分两期建设，此前披露消息显示，一期批复投资70亿元，总投资达370亿元。根据规划，将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线，预计2024年6月通线。

据羊城派报道，据了解，该项目预计今年6月份将完成首批设备安装，今年12月底完成第一个有良率的产品下线。广州增芯科技有限公司总经理张亮表示，目前国产装备在增芯一期项目里的使用占比超过了35%，希望在二期投产的时候能达到一半以上。

增城开发区投资促进局消息显示，2023年9月20日，增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目正式封顶。项目总投资达370亿元，分为两期规划，占地面积达370亩，一期达产后预计产能2万片/月。项目由广州增芯科技有限公司进行投资，拟建设半导体晶圆制造厂，主要生产12英寸工艺产品，产品应用领域为传感器、模拟芯片和汽车电子等。

据广州日报报道，该项目自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现了“开工一年装机”，封顶至今仅5个月多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机。

审核编辑 黄宇