imec虚拟晶圆厂可量化IC制造对环境的影响

来源：《半导体芯科技》

纳米电子和数字技术研究和创新中心imec已经推出了公众可以免费访问的imec.netzero虚拟工厂版本。该工具提供了IC制造对环境影响的量化视图，为学者、政策制定者和设计人员提供了宝贵的见解。通过发布此免费网络应用程序，imec旨在支持半导体行业以及整个半导体供应链减少对环境的影响。

半导体制造是一个复杂的过程，具有多种环境影响；从高能源消耗到稀缺材料的使用和温室气体排放。考虑到市场的增长和巴黎协议针对气候变化的目标，该行业正致力于优化工艺流程。然而，为了确定和减轻对环境影响较大的工艺或技术，需要大量数据。

这一问题在imec的可持续半导体技术和系统（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems,SSTS）研究计划中得以解决。SSTS是一个涉及整个半导体生态系统的协作框架，从电子产品的最终用户到晶圆厂、代工厂、材料和设备制造商，与学术界和政府合作一起合作的。

为了准确量化IC制造对环境的影响，imec开发了一个名为imec.netzero的虚拟工厂。该网络应用程序利用来自其自己晶圆厂的数据，并不断与来自设备、材料和晶圆厂合作伙伴（例如液化空气、应用材料、ASM、ASML、Edwards、Kurita、Lam Research、SCREEN、Tokyo Electron、GlobalFoundries、三星电子和台积电等）的数据进行基准测试。该虚拟工厂遵循生命周期评估方法，收集和分析制造IC的每个工艺步骤中使用的能源、材料、化学品、气体和其他资源的数据。合作伙伴可以访问自己专用的imec.netzero软件应用程序，该应用程序提供详细的分析，以量化当前和未来IC技术的具体排放和其他环境影响，从而提供切实的行动建议。

现在，imec希望该虚拟晶圆厂工具可以覆盖更广泛的受众。imec.netzero公共版本可以访问与imec.netzero Private相同的晶圆厂模型和工艺数据库。虽然该网络应用程序受到一些限制（例如，仅限于当前技术和《温室气体协议》的范围1+2），但它提供了独特的数据见解，以前公众无法访问。例如，可以根据不同地理位置的制造情况，为多种逻辑和存储技术（从N28开始）生成气候变化（二氧化碳排放量）、电能消耗或总用水量的可视化演示。

imec项目经理Cédric Rolin解释道：“我们的目标是提供有关IC制造对环境影响的透明且高质量的数据，不限于半导体供应链和我们的SSTS计划。我们的工具超越了现有的文献，为寻求行业影响数据的产品设计师、环境研究人员和政策制定者提供了价值。”

审核编辑 黄宇