增芯12英寸MEMS量产线首台设备搬入！来自国产半导体制造设备巨头！

据传感器专家网获悉，12月28日，位于广州的增芯科技MEMS量产线项目举行首台生产设备搬入仪式，本次搬入设备是由中微半导体设备（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蚀设备反应台。

增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目，一期总投资70亿元，项目建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，产品主要应用于汽车电子、物联网、类工业、消费电子等领域，是相关领域产品性能表现的决定因素之一。

以下为新闻原稿：

2023年12月28日上午，广州增芯科技有限公司举行首台生产设备搬入仪式，公司董事长陈晓飞出席活动并致辞，总经理张亮、首席运营官萧国坤，全体二级以上主管及研发、运营、厂务员工代表以及增城区政府部门领导、区产投集团、宁西街道、项目参建单位、设备供应商代表，共同现场见证增芯科技这又一里程碑式的重要时刻。

本次搬入设备是由中微半导体设备（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蚀设备反应台，也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备，运用了中微具有自主知识产权的创新技术，是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。该设备的搬入，是继项目“920封顶”以来的重要交付，标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工，项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。

陈晓飞董事长首先对莅临现场的领导和来宾表示热烈欢迎，他代表增芯感谢政府各部门对于增芯项目建设的大力支持，感谢产投集团、各参建方以及设备供应商提供的优质服务和保障，感谢增芯全体员工的真心付出。

增城区科工商信局罗明局长、公司首席运营官萧国坤先生、中微半导体设备（上海）有限公司副总裁张凯先生分别代表行业主管部门、公司管理层和设备供应商（战略合作伙伴）致辞，对首台生产设备顺利搬入表示热烈祝贺。

随后，张亮总经理向中建四局、世源设计院、中电四公司颁发“项目优秀承包商奖”，感谢各单位对于项目建设的大力支持和精诚努力。

最后，增芯副总裁、生产运营中心主管徐立介绍了本次搬入刻蚀设备的性能特点，邀请嘉宾上台共同为运载设备的车辆揭幕。红布飞扬，礼花奏响，现场掌声连绵不绝。

增城区科工商信局、开发区企业服务局、科技创新局、投资促进局、园区发展局、区产投及宁西街相关负责人亲临现场，共同见证这一激动人心的时刻。

本次活动的圆满成功，标志着增芯正式迈入新起点、新征程。参加活动的增芯员工纷纷表示，将继续发挥敢想敢干的精神，保持创“芯”激情，向社会各界展示增芯人求真务实的精神风貌，再接再厉，全力以赴，为早日实现量产持续贡献增芯力量。

审核编辑 黄宇