果纳半导体：首家实现晶圆传输设备自主研发批量出货

近年来，在内生利好、外部压力环境下，晶圆工厂更加关注设备供应链安全，国内科研攻关也备受重视，国产化进程不断加快。

果纳半导体成立于2020年，已经在晶圆晶体管领域具有一定的知名度和影响力。作为一家专业晶片晶体管前端模块制造企业，郭娜着眼于国内外半导体设备供应商的技术动向和产品指南，开发了大量替代进口产品。

果纳半导体主要致力于集成电路传送领域。研究开发组均来自国内外知名集成电路设备企业，技术人员所占比重超过70%。其主要产品有晶圆前端传输模块、晶圆分选机、晶圆存储系统和传输领域关键零组件等。果纳半导体是钣金车间，机加工车间，万级和千级净化张江建设，建立了完整的产品加工生产线，满足自身研究及oem生产管理和产品收率保障的同时，建立稳定的供应链国产化方案，减少了供应链风险。

目前，北方华创、华海清科、中微半导体、长江存储、格科微、积塔、新昇、奕斯伟等近30家设备企业和近20家晶片制造工厂成为国纳的客户。迄今为止，果纳的晶圆前端传送模块产品已售出200台以上。

作为致力于研究开发和创新的企业，果纳半导体非常注重知识产权保护，共批准了50项知识产权，其中包括36项发明专利。每款车型都通过了semi s2和f47认证。此外，果纳半导体获得国家高新技术企业认证、上海市专业化特新企业认证、上海市专利示范企业、半导体投资联盟产业链突破奖等诸多荣誉。

果纳半导体凭借晶圆传送模块的出色业绩，在ic排名中获得了“年度优秀创新产品奖”和“年度品牌创新奖”。

晶圆传输模块（efem front end模块是弱者，即装备前面模块），业界一般干净的等级较高的微环境模块成品秒干净的等级的，为了储存晶片干燥环境、单片晶片通过精密机械高频，效率，顺利传送至工艺，并且测量模块，保证设备系统内部清洁等级（class 1）。

和我拥有完全独立的知识产权，拥有晶片收发器模块领域的核心核心技术。该公司是第一家独自研发晶片收发器设备并统一出库的企业，销量居首位，精密度、无质量等技术水平居国内首位，在国际上也处于领先地位。所有产品都已经通过了semi s2和f47半导体设备安全认证。

果纳半导体研制的EFEM可手动或自动天车搬运系统（OHT）/无人搬运车（AGV）对接，采用多关节单臂双叉型机器人，通过多轴复合运动实现晶圆取放片，极大提高了传片效率和稳定性，能够满足长期使用的高洁净度要求；同时，具有优异的内部气流导向结构设计，保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class 1级别要求，甚至能达到更高的无尘要求。不仅如此，EFEM还具备很高的集成度和很大的灵活性，可以根据不同的的用户需求订制晶圆承载台数量，设备内部可以合理布局搭载不同功能的模块，兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB 、SMIF和OC料盒。

果纳半导体坚持攻关核心关键技术，自主研发核心关键零部件，并且组建了一流的软件团队，利用软件的优势实现快速弯道超车。

果纳半导体直言，立志打破晶圆传输设备被国外垄断的局面，推动完善产业链的国产化。