科友半导体自产首批8英寸碳化硅衬底下线

2023年9月，科友半导体自产首批8英寸碳化硅衬底成功下线。

科友半导体8英寸碳化硅（SiC）中试线在2023年4月正式贯通后，同步推进晶体生长厚度、良率提升和衬底加工产线建设，加快衬底加工设备调试与工艺参数优化，SiC衬底加工良率和面型参数上不断取得新的进展。

2023年9月，科友首批自产8英寸SiC衬底于科友产学研聚集区衬底加工车间成功下线，这标志着科友在8英寸SiC衬底加工，以及大尺寸衬底产业化方面迈出了坚实一步。

批量生产的8英寸碳化硅晶体

8英寸碳化硅切割片

科友首批8英寸碳化硅衬底

科友半导体8英寸SiC衬底的突破将超越一城一事的欢喜，代表着中国的8英寸SiC距离“实现”又迈出坚定一步！

哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司成立于2018年5月，企业坐落于哈尔滨市新区，是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家级高新技术企业，研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域，已形成自主知识产权，实现先进技术自主可控。

科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。

审核编辑：刘清