低温型霍尔效应测试系统的作用及其主要构成部分

霍尔效应测试系统用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试系统是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必*的工具。 实验结果由软件自动计算得到，可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)等。

低温型霍尔效应测试系统由电磁铁、真空泵、低温真空腔、高斯计、恒流源、电磁铁电流源、控温仪和计算机及软件组成。其中，电磁铁电流源给电磁铁提供电流，产生磁场；高斯计测量线圈产生的均匀磁场值；恒流源一方面给样品提供电流，用于霍尔效应测试，一方面可以测量样品电压；被测样品置于低温真空腔中，由低温胶固定，并作为四个测试点；低温真空腔引出4根导线，两个连接控温仪进行温度的测量及控制，另1根是低温探头引线连接到高斯计上，还有1根是霍尔样片连接线接到恒流源上；计算机连接高斯计、控温仪、恒流源和电磁铁电流源，通过软件实现控制通过被测样品的电流和磁场值，并获取测得的电压值。

审核编辑 黄宇