首款MEMS微振镜实现量产！可应用于国产激光雷达！

据传感器专家网获悉，中国&全球最大的纯MEMS晶圆代工厂赛微电子，昨日（9月13日）晚间发布公告，其控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司为某客户制造的MEMS微振镜顺利完成小批量试生产阶段，2023年9月13日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署采购订单，赛莱克斯北京开始进行 MEMS 微振镜的商业化规模量产。 据介绍，2022年4月，赛莱克斯北京与某国际知名激光雷达厂商及其子公司签署《战略合作框架协议》，开展面向汽车雷达MEMS微镜产品的长期战略合作；2023年8月，赛莱克斯北京代工制造的某款MEMS微振镜通过了客户验证，启动首批MEMS微振镜8英寸晶圆的小批量试生产。2023年9月，此款MEMS微振镜完成了小批量试生产阶段，实现商业化规模量产。

▲来源：赛微电子公告 MEMS微镜（也被称为“MEMS微振镜”、“MEMS扫描镜”）是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。 近年来，随着智能化、电动化、网联化的加速发展，汽车传感器市场持续扩大，且基于MEMS等半导体制造工艺生产的先进传感器正在逐步替代部分传统类型传感器。以汽车自动驾驶功能为例，激光雷达是其中用到的众多传感器之一，按照激光扫描方式可以分为机械、混合和固态三种类型。

随着自动驾驶技术的不断发展，小型化、低成本、高精度、固态化激光雷达逐渐出现并得到应用。MEMS激光雷达的核心光束操纵元件为MEMS微镜，可通过半导体工艺进行集成化生产，极大地减少了激光雷达的体积且降低了成本，在车规级批量应用中存在优势。 公司表示，尽管已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破，但赛莱克斯北京在整体上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。

审核编辑 黄宇