纳米级测量用的有哪些仪器？

白光干涉仪和激光共聚焦显微镜同为微纳米级表面光学分析仪器，都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。

VT6000共聚焦显微镜

白光干涉仪多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；（SuperViewW1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜，对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。）

超光滑透镜测量

自动拼接功能

大尺寸样品拼接测量

而共聚焦显微镜更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。