3D光学表面轮廓仪工作原理

在微电子、微机械、微光学等领域，因为现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，以及单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量，只有以白光干涉技术为基础的3D光学表面轮廓仪能实现超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量，提供更高精度的检测需求。

3D光学表面轮廓仪工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

中图仪器SuperViewW13d表面光学轮廓仪支持自动聚焦功能，只需将Z向调到贴近样品表面（小于镜头工作距离），选择好聚焦范围，即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。 采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

中图仪器3d表面光学轮廓仪具有测量精度高、分析功能强大、使用方便、测量参数齐全等优点，其光源模式保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。系统软件为简体中文操作系统，操作方便。