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解锁微观测量新境界:光学3D轮廓仪与共聚焦显微成像的结合应用

中图仪器 2025-06-13 11:41 次阅读
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在当今科技飞速发展的时代,众多行业正朝着精细化、微型化的方向大步迈进。当芯片上的晶体管小到肉眼不可见,当手机摄像头镜片需要纳米级平整度,传统测量工具还能扛得住吗?在这样的行业大背景下,SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪创新性地集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点,为微观测量领域带来了的变化。

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集成带来的测量灵活性飞跃

传统单一测量设备要么精度不足,要么无法兼顾复杂结构。而SuperView WT3000白光干涉仪+共聚焦显微镜双模式融合,纳米级难题迎刃而解!

1、白光干涉模式利用白光干涉原理,实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量,可测量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度。

2、共聚焦模式以共聚焦技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等,具备锐角度测量能力,可测量倾角接近90°的微观形貌。

复合型光学3D表面轮廓仪将这两者的优势融合,实现了 “1 + 1> 2” 的效果:

1、白光干涉模式:纳米级“温柔扫描”

不伤表面:非接触测量,连脆弱纳米材料都能“轻抚”检测。

超高精度:粗糙度测量精度达0.005nm,相当于头发丝的十万分之一!

适用场景:芯片硅片超光滑表面、光学镜片曲率测量,分分钟出结果。

2、共聚焦显微镜模式:复杂结构“透视眼”

死角全灭:大角度、深槽结构(如芯片引脚)3D成像无压力。

动态追踪:实时观察材料变化,定位镜片内部缺陷。

这种根据不同测量场景和样品特性,灵活切换测量模式的能力,拓展了仪器的适用范围,为各行业的研发和生产提供了全方位的测量支持。

提升测量效率与精度

1、自动测量:一键完成多区域检测,还能自动拼接大尺寸样品图像,省时90%。

2、智能防翻车:气浮隔振底座隔绝振动,镜头防撞设计,手残党也能放心操作。

3、超高精度:形貌重复性0.1nm,粗糙度RMS重复性为0.005nm,台阶测量准确度达0.5%、重复性0.1%(1σ),导弹光学元件检测就靠它!

多行业应用彰显关键价值

从手机到火箭,复合型光学3D表面轮廓仪都能干啥?

-3C电子:镜头、MEMS传感器、折叠屏铰链,测到就是赚到。

-航空航天:发动机叶片缺陷检测?直接定位0.1μm级裂纹!

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以前测一个芯片要换两台设备,现在WT3000十分钟搞定!你的行业是否面临纳米级测量难题?欢迎留言讨论。

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