中芯国际12亿美元订单不会涉及EUV光刻机

3月3日晚间，中芯国际在港交所公告，公司就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单。根据阿斯麦购买单购买的阿斯麦产品定价，阿斯麦购买单的总代价为12亿美元。

阿斯麦是全球最大的光刻机设备制造商，也是全球唯一一个可以生产EUV光刻机的公司。现阶段，半导体产业链下游需求暴增。作为国内最大的晶圆代工厂，中芯国际正在加大对半导体设备的资本投入，与阿斯麦展开交易，以加速产能扩张。

12亿美元订单不会涉及EUV光刻机

据了解，此次阿斯麦批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。中芯国际根据批量采购协议，已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单。

除了期限的延长，本次购买单的购买金额也于公告中披露。根据阿斯麦购买单购买的阿斯麦产品定价，阿斯麦此次购买单的总代价为12亿美元。在采购方式上，中芯国际需支付30%首期付款，其余部分在交货时支付。

不同类型的设备对中芯国际研发生产能力的推进有所不同，关系到中芯国际中低端和高端芯片的扩产能力。对于这项12亿美元订单包含的产品、机器型号等细节，中芯国际尚未公布有关信息，面对媒体也保持低调。

记者在采访中国电子专用设备协会副秘书长金存忠的过程中了解到，由于中芯国际在高端设备的采购方面尚受管制，本次中芯国际购买设备为EUV光刻机的可能性为零。金存忠告诉记者，中芯国际此次向阿斯麦购买的应该是14nm及以上工艺生产所需设备，即DUV光刻机。此外，CVD、刻蚀、离子注入、氧化炉、CMP、PVD和薄膜量测等设备也是中芯国际需要采购的设备。

知名半导体行业专家莫大康也认为，本次中芯国际不可能买到EUV光刻机设备，但对除EUV光刻机之外的不少设备拥有较大购买权。

KLA、应用材料公司或是中芯国际接下来的下单对象

阿斯麦是全球最大的光刻机制造商，也是全球唯一一家可以生产EUV光刻机的公司，垄断了全球顶尖光刻机市场。中芯国际一直是阿斯麦在中国大陆地区的客户，与阿斯麦业务往来频繁，二者存在上下游的直接供应关系。

金存忠向记者表示，本次中芯国际与阿斯麦签订购买单，与日前中芯国际14nm及以上工艺生产所需设备获美供应许可一事有关。在成熟工艺设备获美供应许可后，中芯国际可能会着力发展逻辑电路、功率半导体等领域，14nm—90nm是其研发重点。自2020年年末起，8英寸晶圆产能紧缺，而8英寸晶圆支持的制程工艺是90nm，现阶段已上移至65nm，因此本次中芯国际成熟工艺设备获美供应许可，有助于中芯国际进一步扩产，并获得更高营收。

近日才传出获得供应许可的消息，中芯国际就立刻同阿斯麦签订了巨额购买单，中芯国际此举透露什么信号？莫大康认为，中芯国际的这种做法可能是未雨绸缪之举。莫大康将自己的猜测告诉记者，目前国际形势仍然复杂，存在很多不确定因素，已发布的政策也可能存在变数，因此中芯国际只能将眼光放远，尽量做长期的购买计划，以充足备货。

在可以预见的未来，中芯国际可能与更多厂商开展交易。莫大康认为，能够提供线宽测量仪的KLA公司和能够提供外延工艺设备的应用材料公司或是中芯国际接下来下单的对象，但购买的设备同样不会涉及先进制程研发。
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