如何解决集成电路制造产生的大量废硫酸处置难题？

新模式解决大难题——“废硫酸定向资源化再利用”给出废酸 处置新方案

随着产业规模的逐步扩大，集成电路制造企业在运营过程中产生的大量废硫酸处置问题，正成为影响上海持续发展集成电路产业的一大难题。

为积极应对废硫酸处置问题，主动服务企业的优质高速发展，上海市集成电路行业协会跨前一步，在市经信委、市生态环境局等相关部门的支持下，未雨绸缪，积极探索，多次召开专家研讨会论证处置方案，最终形成了解决废硫酸处置难题的新模式

——废硫酸定向资源化再利用。

该模式的核心是实现集成电路制造过程中产生的废硫酸替代钛白粉生产工艺过程中用到的工业硫酸。在新模式的探索过程中，我们经过试点工作，验证了废酸再利用单位在利用废硫酸生产钛白粉时，不需要调整现有工艺，并证明了废硫酸回用技术具有很强的技术可行性，同时，替用过程不增加额外的环境负担与风险，不影响产品的质量，符合“固体废物减量化、资源化和无害化”原则。试点工作也彰显了“废硫酸定向资源化再利用”这一新模式具有很好的环境效益、经济效益和社会效益，符合循环经济产业需求，不仅解决了废硫酸处置出路难、处置费用高的难题，降低了企业生产成本和废硫酸处理费用，还有力促进了钛白粉生产单位的升级改造、精准转型和绿色发展，为日后集成电路产业的蓬勃发展铺平了道路。

为了积极推行“废硫酸定向资源化再利用”这一新模式，上海市集成电路行业协会编写了《钛白粉用集成电路制造行业废硫酸》（T/SICA001-2020）团体标准，并在上海市质量技术监督部门网站进行了备案和国家标准网上公示，该标准的制定有力地保证了废酸源头质量的把控。

2019 年 11 月，上海市生态环境局同意本市四家企业废硫酸定向资源化再利用备案。目前各方进展顺利，各试点企业在严格执行危废各项管理制度下，废硫酸源头品质得到保证，并委托具有相关运输资质的单位专人专车进行运输。接受单位在废酸使用期间，生产运行稳定，各项污染物排放环保指标检测均符合排放标准。

2020 年 10 月，上海市生态环境局扩大“废硫酸定向资源化再利用”备案，新增四家企业，已经全部覆盖了上海市具备回收废酸条件的集成电路制造企业。

至此，上海市集成电路行业协会参与创新建立的“废硫酸定向资源化再利用”模式已初见成效，总体上稳定地解决了上海集成电路产业废硫酸处置问题。下一步将深入探索该模式的推广应用课题，在严格遵守国家相关法律法规的前提下，努力实现将更多的集成电路生产过程中的“废物”变成可资利用的优质“资源”的目标，为绿色生态环境建设和集成电路产业的蓬勃发展做出贡献。

原文标题：难题：集成电路制造企业在运营过程中产生的大量废硫酸处置问题

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责任编辑：haq