上海微电子装备公司的高亮度LED步进投影光刻机入选“上海设计100+”

上海微电子装备公司的高亮度LED步进投影光刻机入选“上海设计100+”

5月17日，上海信息消费节开幕式暨“上海信息消费云峰汇”在黄浦江畔的安莎国际会议中心举行。上海市委副书记、代市长龚正宣布云峰汇开幕。上海市委常委、副市长吴清为上海数字新基建产品直播带货，工业和信息化部总工程师田玉龙视频致辞。

本次上海信息消费节由上海市经济和信息化委员会、上海市商务委员会、上海市发展和改革委员会、上海市文化和旅游局联合主办，以“数字赋能消费新时代”为主题，以“三大产品、三大服务、三大场景”为主线，突出“千行百业、全网互联”。

作为本次上海信息消费节开幕式的重要组成部分，上海市政府秘书长陈靖、上海市政府副秘书长陈鸣波、上海市经济信息化工作党委书记陆晓春、上海市经济信息化委主任吴金城，携上海设计品牌代表，共同发布首届“上海设计100+”产品，上海微电子装备公司的高亮度LED步进投影光刻机最终从1200多个申报项目中成功突围，入选“上海设计100+”。

上海于2010年加入联合国教科文组织“创意城市网络”，命名为“设计之都”。根据市政府重点工作安排，上海市经信委于2020年初启动了首届“上海设计100+”征集工作。围绕国际设计之都、时尚之都、品牌之都建设，推进设计、时尚、品牌三个100+工程。

由上海微电子装备公司自主研发的高亮度LED步进投影光刻机，是中国首台面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域的光刻机产品，可满足HB-LED等领域单面或双面的光刻工艺需求，解决了LED产业大翘曲蓝宝石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高产率的光刻需求，且支持蓝宝石键合片特殊工艺。自产品问世以来，先后荣获“第十五届中国国际工业博览会铜奖”、“上海市专利新产品”、“第十三届（2018年度）中国半导体创新产品和技术奖”、工信部第四批“制造业单项冠军产品”等荣誉。