国产离子注入机已发往大产线，集成电路装备再破零

近日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入机市场化进程再上新台阶。

据介绍，离子注入机是将特定种类离子以指定参数注入至特定材料中的一种设备，执行的是核心的掺杂工艺。半导体要做成器件，要改变电性能，必须掺入杂质，离子注入机就是执行掺杂工艺的标准设备。“每一个器件生产过程中，需要进行很多次离子注入，注入到器件不同的位置，注入的次数对于不同器件类型和工艺节点有差异，例如对于28nm逻辑器件，注入次数约为40次。”烁科中科信公司技术总监张丛介绍说。

目前，国内集成电路离子注入设备市场几乎被国外垄断，国产设备市场份额小，烁科中科信是我国目前唯一的一家全系列集成电路离子注入机集研发、制造、服务于一体的供应商。在研发过程中，研发团队攻克了光路、晶圆传输、剂量控制、通用软件系统等离子注入机共性关键技术。中束流离子注入机突破了高精度束流角度控制、小发射度长寿命离子源等关键技术，大束流离子注入机则进一步突破了低能大流强束流传输与控制、支持十余种离子的大流强长寿命离子源等关键技术，高能离子注入机在高能（MeV）离子加速、高电荷态离子源等关键技术上实现了突破。

追平主流只是开始，成体系实现国产替代才是目标。“烁科中科信公司已形成全系列离子注入机产品体系，建立了符合SEMI标准要求的离子注入机产业化平台，年产能达30台，公司的产品广泛应用于全球知名芯片制造企业，并获客户高度认可。”张丛说，公司自主研制的离子注入机系列产品还斩获了北京市科学技术进步一等奖等多项荣誉，在客户产线上累计跑片650万片，稳定支撑了客户量产。除此之外，还建立了一支专业化的售后服务团队，实行7×24小时响应机制，持续提升客户体验，加速国产化进程。

公司负责人说，将进一步围绕攻克核心关键技术持续发力，推进中束流和大束流离子注入机产业化，同时，紧跟先进工艺发展，开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发工作，并不断拓展离子注入机在新兴领域的应用。