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电子发烧友网>制造/封装>半导体技术>半导体新闻>Entegris 发布针对先进半导体制造的新型化学机械研磨后清洗解决方案

Entegris 发布针对先进半导体制造的新型化学机械研磨后清洗解决方案

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2022-07-11 19:55:132080

探秘半导体制造中单片式清洗设备

达到的水准,因此单片式刻蚀、清洗设备开始在半导体制造过程中发挥越来越大的作用。   在全自动单片清洗设备中,由于大而薄的硅片对夹紧力较为敏感,再加上硅片的翘曲率不同,因此对于硅片的抓取、传输提出了更高的要求。
2022-08-15 17:01:354061

芯和半导体参加“半导体制造先进封测论坛”并发表演讲

时间2022年11月2日地点上海国际会议中心,5楼,长江厅 活动简介     芯和半导体受邀于11月2日参加在上海国际会议中心举办的“SEMICON 半导体制造先进封装论坛”。   2021
2022-11-01 18:49:301272

半导体制造工艺中的UV-LED解决方案

针对半导体制造工艺的UV-LED光源需求,虹科提供高功率的紫外光源解决方案,可适配步进器和掩膜版设备,更换传统工具中的传统灯箱,实现高质量的半导体质量控制。
2023-03-29 10:35:41712

虹科分享 | 半导体制造工艺中的虹科光源解决方案(1)

结 构。 得益于LED的技术优势和成本优势,半导体制造领域正在摆脱长期以来的传统放电汞灯技术,进而选择 UVLED技术 作为一种理想解决方案。 虹科UVLED紫外光源 提供稳定且超高功率的UV辐射输出,最高 输出功率可达80W ,具有长寿命和成本优势,无需额外冷却时间,即开即用,取代了传统的灯箱结构
2023-04-20 09:32:24412

虹科分享 | 半导体制造工艺中的虹科光源解决方案(2)

结 构。 得益于LED的技术优势和成本优势,半导体制造领域正在摆脱长期以来的传统放电汞灯技术,进而选择 UVLED技术 作为一种理想解决方案。 虹科UVLED紫外光源 提供稳定且超高功率的UV辐射输出,最高 输出功率可达80W ,具有长寿命和成本优势,无需额外冷却时间,即开即用,取代了传统的灯箱结构
2023-05-16 09:54:17533

半导体制造中的清洗工艺技术改进方法

随着晶体管尺寸的不断微缩,晶圆制造工艺日益复杂,对半导体湿法清洗技术的要求也越来越高。
2023-08-01 10:01:561652

半导体清洗除尘,是芯片制造的重要环节

早些时期半导体常使用湿式清洗除尘方法,湿式清洗除尘通常使用超纯水或者化学药水来清洗除尘,优点就是价格低廉,缺点是有时化学药水或者超纯水会把产品损害。随着科技技术的进步,人们对半导体清洗除尘要求越来越高,不仅要保证产品的良率达到一定的标准,还需要清洗除尘的程度达到不错的水平
2023-08-22 10:54:45681

半导体制造工艺之光刻工艺详解

半导体制造工艺之光刻工艺详解
2023-08-24 10:38:541223

华林科纳PFA管在半导体清洗工艺中的卓越应用

随着科技的不断发展,半导体技术在全球范围内得到了广泛应用。半导体设备在制造过程中需要经过多个工艺步骤,而每个步骤都需要使用到各种不同的材料和设备。其中,华林科纳的PFA管在半导体清洗工艺中扮演着
2023-10-16 15:34:34258

化学机械研磨(cmp)工艺操作的基本介绍

在芯片制造中,单纯的物理研磨是不行的。因为单纯的物理研磨会引入显著的机械损伤,如划痕和位错,且无法达到所需的平整度,因此不适用于芯片制造
2023-11-29 10:03:32327

​cmp工艺是什么?化学机械研磨工艺操作的基本介绍

化学机械研磨工艺操作的基本介绍以及其比单纯物理研磨的优势介绍。
2023-11-29 10:05:09349

PFA阀门耐高温耐高压清洗半导体芯片

半导体产业中,清洗机与PFA阀门扮演着至关重要的角色。它们是半导体制造过程中的关键设备,对于提高产品质量、确保生产效率具有举足轻重的作用。 半导体清洗机是一种专门用于清洗半导体的设备。在半导体制造
2023-12-26 13:51:35258

半导体制造中混合气体需精确控制

。以下是半导体制造中气体混合的一些常见用途和相关操作。 1、清洗:气体混合用于制备清洗气体,例如氢气和氮气的混合物,以去除制造设备和器件上的杂质和残留物,确保器件的纯度。 2、退火:气体混合物,通常是氢气和氮气的混
2024-03-05 14:23:0897

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