电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
半导体清洗工艺全集
晶圆清洗是半导体制造典型工序中最常应用的加工步骤。就硅来说，清洗操作的化学制品和工具已非常成熟，有多年广泛深入的研究以及重要的工业设备的支持。所以，硅清洗技术在所有具实际重要性的半导体技术中是最为成熟的。第一个完整的、基于科学意义上的清洗程序在1970年就提出了，这是专门设计用于清除Si表面的微粒、金属和有机污染物。
此后，硅清洗技术经历了持续的发展改进，包括早期用气相等效物替代在湿化学品中进行的部分清洗操作。难以置信的是，现代先进的Si清洗仍然依赖于大体上同一组化学溶液，不过它们的制备和送至晶圆的方法与最初提出的已大不相同。此外，传统上用湿清洗化学品做的表面选择清洗/修整功能现在是在气相中做的。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 半导体后封装工艺及设备 8次下载
- 半导体清洗设备国产替代正当时.zip
- 向65nm工艺提升中的半导体清洗技术 43次下载
- 半导体IC的清洗方法 70次下载
- 半导体单晶抛光片清洗工艺分析 49次下载
- MEMS工艺——半导体制造技术 237次下载
- 半导体工艺化学原理 111次下载
- 《基于Silvaco的半导体工艺与器件仿真傻瓜教程》-电子书籍.pdf 0次下载
- 半导体IC清洗技术 93次下载
- 半导体器件制造工艺手册 131次下载
- 半导体硅工艺学电子书 117次下载
- 半导体工艺制程实用教程 220次下载
- 半导体工艺设备技术系列 32次下载
- 半导体清洗工艺 47次下载
- 干刻清洗工艺在金属刻蚀去胶腔上的评价及应用 16次下载
- 半导体芯片封装工艺介绍 253次阅读
- 靶材的种类及制备工艺 靶材在半导体领域的应用 319次阅读
- 等离子体清洗工艺的关键技术 等离子体清洗在封装生产中的应用 456次阅读
- 半导体制造工艺之光刻工艺详解 1227次阅读
- 半导体工艺之金属互连工艺 2174次阅读
- 半导体前端工艺之沉积工艺 832次阅读
- 详解半导体封装测试工艺 1007次阅读
- 半导体制造CMP工艺后的清洗技术 2434次阅读
- 半导体器件制造过程中的清洗技术 3204次阅读
- 半导体制造工序中CMP后的晶圆清洗工序 2913次阅读
- 半导体晶圆清洗工艺技术 678次阅读
- PCBA水清洗技术工艺的原理及优缺点介绍 9053次阅读
- 全面分析半导体晶圆工艺 1.3w次阅读
- 半导体知识 芯片制造工艺流程讲解 3.9w次阅读
- 半导体工艺的良品率测量点 2601次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1491次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 11次下载 | 免费
- 6100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论