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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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据iSuppli公司的最新调研,微机电 (MEMS)汽车传感器将在2010年强劲反弹,预计2010年全球汽车MEMS传感器出货量将达到5.912亿个,比...
在消费电子设备中如何选择和集成MEMS运动处理方案 对设备在三维空间中的运动进行测量及智能处理的运动处理技术,将是下一个重大的革命性技术,会对未来的手持消费电
2010-01-04 标签:MEMS 487 0
如何利用MEMS惯性感测技术实现应用变革 虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右,但却是任天堂Wii和...
2010-04-27 标签:MEMS 1.5k 0
什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电...
2010-04-02 标签:MEMS 2.3k 0
MEMS,什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处...
2010-03-20 标签:MEMS 1.3k 0
MEMS光开关的优势有发展动态简介 摘要 本文介绍了基于MEMS(微电子机械系统)技术的光开关的技术优势及主要制造商情况,并概要分
MEMS产业预强势发展 2008年,TSMC宣布开始进入MEMS代工。一石激起千层浪,MEMS顿时成为半导体代工行业的明星。2009年Q1,SMI...
2010-03-17 标签:MEMS 602 0
CAD工具提供MEMS专用设计功能介绍 在过去几年,MEMS和微机械化设计与生产更多地是发生在大学实验室里的研究活动,而
2010-03-11 标签:MEMS 1.8k 0
采用PC的IC工具降低MEMS设计方法 鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺,所以人们很自然会考虑用IC设计工具来...
2010-03-11 标签:MEMS 594 0
创建灵敏的MEMS结构的工艺技术介绍 表面微加工技术可用于创建微机电传感器及激励器系统,它能够通过高适应度的弹性,形成锚
2010-03-11 标签:MEMS 924 0
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