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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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从自动驾驶导航定位到安全气囊触发控制,再到胎压监测与悬架调节,MEMS传感器正重塑智能汽车的神经系统。博世作为全球MEMS市场的领导者,不仅提供高精度、...
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