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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经...
电润显示的反应速度要比电泳快很多,但要实现与LCD一样的反应速度,电润材料的液体粘性仍然很难克服,而且即便是其粘度能达到与液晶一样,其分子自组装仍然需要...
MEMS也即微机电系统,电子专业的朋友对MEMS都具备一定认识。在往期文章中,小编对MEMS交换、MEMS封装等有所介绍。为增进大家对MEMS的了解程度...
研究表明:雅培CardioMEMS传感器将心力衰竭住院率降低44%
心力衰竭是一项全球性健康挑战,影响着全世界超过6400万人,并且由于频繁的再次入院而对医疗保健系统提出了巨大的要求。而雅培CardioMEMS传感器等远...
任何晶圆的刻蚀都涉及边缘不连续性,而且随着晶圆尺寸提升至300mm,这些问题对良率的影响会更为显著。
把多个功用不一样的传感元件集成在一起,除可一起进行多种参数的丈量外,还可对这些参数的丈量成果进行归纳处理和评估,可反映出被测体系的全体状况。由上还能够...
车辆安全问题一直是一个待改进的问题,整个车辆需要向着更安全、更清洁和更经济的方向发展,这个是在电控车身系统、动力总成系统、辅助驾驶系统以及车载信息系统等...
MEMS产业发展十分迅速,但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来,MEMS器件和传统IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有额外的机械部分(...
2016-11-05 标签:mems 1.7k 0
ADXL345 3 轴数字加速计: 小型、薄片式、低功耗移动设备应用的理想选择
具有 13 位分辨率的 ADXL345 3 轴数字加速计 Analog Devices 的小型、薄片式、低功耗 ADXL345 加速计是移动设备应用的理...
MEMS传感器是令人惊奇的小器件,大小仅为几平方毫米,通常包含两个芯片。一个是传感器芯片,通常来说MEMS器件提供运动或压力信息,但它也可以用作磁性固态传感器。
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