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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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北京康斯特仪表科技股份有限公司(以下简称“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召开的第四届董事会第二次会议审议通过了《关于投资建设仪器...
顾杰斌团队研发的MEMS-Casting™技术实现了MEMS和铸造的完美结合
MEMS技术与铸造的结合,缘自它们之间的一个共通点:两者都是机械部件制造技术,区别在于尺度上存在几个数量级差异。相对于其他机械加工方法,例如车,铣,抛等...
从消费类多媒体产品到工业自动化和监视系统、网络和通信基础设施以及坚固的军用设备,所有数字电子产品都有一个滴答作响的“心脏”,即一个准确的振荡器。历史上,...
近日,意法半导体(ST)在上海召开媒体沟通会,ST模拟、MEMS及传感器事业部副总裁兼MEMS传感器产品部总经理Andera ONETTI表示,对于整个...
美国模拟器件公司ADI推出了一款多轴运动传感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地与工业系统设计融为一体,通过精确的运动分析与控制,提高系统性能,并使设计人员的研制时间缩短长达一年。新的惯性测量装置扩展了...
本文介绍ADI公司突破性的微机电系统(MEMS)开关技术。与传统机电继电器相比,ADI公司的MEMS开关技术使RF和DC开关性能、可靠性及小型化实现了跨...
加速度是描述物体速度变化快慢的物理量,通过测量由于重力引起的加速度,你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。通过分析动态加速度,你可以分析出设备移动的方式。
“倾角传感器”顾名思义,就是测量倾斜角度的一种角度传感器。倾角传感器应用场所极多,随着MEMS技术的发展,倾角传感器得到越来越广泛的应用。适合应用于工厂...
静电力是另一种可能引起粘附的作用力。在静电驱动或摩擦的作用下,残余电荷会集聚在MEMS器件中的绝缘部件或绝缘层上,例如:氧化硅或氮化硅绝缘层和疏水涂层等...
国内外RF MEMS厂商大盘点 5G对我国的RF MEMS厂商来说是机遇也是挑战
射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的重要应用领域之一,也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。RF MEMS用于射频和微波频率电路中...
MEMS技术是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,它开辟了一个全新的技术领域和产业,其目标是把信息的获取、处理和执行集...
全球导航卫星系统 (GNSS) 非常有用,能够定位全球任意位置已正确启用此功能的系统,但仅仅使用 GNSS 接收器进行定位也存在一些问题。使用惯性测量装...
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