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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

干法刻蚀解决RIE中无法得到高深宽比结构或陡直壁问题

在 MEMS 制造工艺中，常用的干法刻蚀包括反应离子刻蚀（Reactive lon Etching， RIE）、深反应离子刻蚀（Deep Reacti...

2022-10-10 标签：射频 mems 等离子 6.8k 0

MEMS传感器在振动监测中的应用

振动监测 (VM) 已经问世很长一段时间，并且已被用于监测机器、设备或结构的健康状况。在机器运行过程中，可以利用专用传感器收集其振动数据以对其进行实时监...

2022-09-29 标签：mems 振动传感器振动监测系统 2.2k 0

惯性测量单元可实现高数据分辨率

据麦姆斯咨询介绍，惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，IMU）是测量物体三轴姿态角（或角速率）以及加速度的装置。通常，IM...

2022-09-28 标签：智能手机 mems 数据 1.9k 0

基于深度学习（DL）的数据驱动的非参数化MEMS结构设计方法

在本论文研究中，作者们提出使用深度学习技术，通过快速准确地预测具有不同几何结构特征的众多设计候选方案的物理特性，加速MEMS设计周期。

2022-09-26 标签：mems 机器学习深度学习 1.4k 0

采用MEMS技术制备的全硅法珀传感器

其中，m表示干涉级次，L2表示真空腔腔长，n2表示真空腔折射率，L1表示硅腔腔长，n2表示硅腔折射率。

2022-09-23 标签：传感器 mems 2k 0

压电微机械超声换能器(PMUT)设计

近年来，基于MEMS的超声换能器技术一直处于快速发展和增长阶段，广泛应用于医疗阵列成像、手势识别、内窥成像、指纹识别等领域。

2022-09-23 标签：mems 超声换能器 6k 0

用ADIN1110设计一款小巧但强大的传感器

对于状态监测(CbM)传感器开发，单对以太网(SPE)或10BASE-T1L比标准以太网更具显著优势，包括缩小传感器尺寸、降低复杂性和低成本布线选项。本...

2022-09-12 标签：传感器 mems SPI 1.8k 0

用于射频MEMS器件陶瓷基板的新型制成技术

微机电系统因其巨大的能力和良好的品质而经常用于T/R模块，特别是用于空间模块化应用。将MEMS技术用于射频应用可以制成高性能和低成本的集成元件，如可变电...

2022-09-02 标签：射频 mems 陶瓷基板 1.9k 0

驻极体电容式麦克风的参数规格及设计

ECM是指驻极体电容式麦克风，与MEMS硅麦不同，其内部结构如图1所示。

2022-09-01 标签：mems 麦克风 ECM 1.5万 0

声光偏转器的优势和应用

在上一期的小课堂，《声光偏转器及其应用连载一：声光偏转器原理》中我们详细的介绍了声光偏转器的相关基础理论和主要性能指标，这一期的连载我们来谈一谈声光偏转...

2022-08-31 标签：mems 声光电光效应 5.8k 0

基于MEMS的IMU设计开发应用

设备激活至少两秒后，倾斜改变至少 35 度时，此事件就生成中断。倾斜功能可用于不同场景。例如，手机放在口袋中，当手机持有者从坐姿变为站立或从站立变为...

2022-08-25 标签：传感器 mems 应用处理器 3k 0

MEMS 振荡器：实现更小、更低功耗的物联网和可穿戴设备

SiTime 为 MEMS 振荡器与基于石英晶体的时钟源提供了一个案例。

2022-08-16 标签：芯片振荡器 mems 2.7k 0

工业应用的振动传感器

STMicroelectronics 深入研究了用于工业环境状态监测的振动传感器的 KPI。

2022-08-17 标签：mems 智能传感器振动传感器 4.3k 0

基于微流控系统开发单细胞生物芯片平台

超声基因转移比其他细胞转移技术更有优势，因为超声不直接作用于细胞，而是通过声孔效应将细胞周围的基因片段推入细胞。据麦姆斯咨询报道，近日，一支由中国广西大...

2022-08-10 标签：mems 换能器 2.5k 0

微流体的关键概念和应用分析

总之，决定使用哪种材料不仅取决于成本，还主要取决于每种应用所需的特定属性。然而，在评估材料时，还应考虑制造的预期产量和生产规模选项，因为它们会影响设计、...

2022-08-09 标签：mems 储存器 3k 0

一文看懂MEMS传感器

导语：传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品——MEMS传感器。 ...

2022-08-04 标签：传感器 mems 6.1k 0

10kHz MEMS加速度计适合状态监控应用

状态监控(CbM)是一种预测性维护方式，其利用各种传感器来评估设备随时间的运行状态。收集的传感器数据用于建立基线趋势，从而帮助诊断甚至预测故障。与传统的...

2022-08-25 标签：传感器 mems 加速度计 1.7k 0

如何通过应力和应变管理实现高精度倾斜/角度检测性能

本文探讨采用加速度计的高精度角度/倾斜检测系统的性能指标。我们首先从微观角度分析传感器设计，以便更好地了解微米级别应力和应变的影响。分析表明，如果不遵循...

2022-08-01 标签：传感器 adi mems 1.1k 0

二氧化碳光声传感技术

室内 CO 2浓度高通常是人类存在的结果。我们的身体吸入氧气并排放二氧化碳，如果环境通风不畅，二氧化碳会在室内积聚。

2022-07-27 标签：传感器 mems 二氧化碳 2.3k 0

传感器性能如何实现基于状态的监控解决方案

下面重点介绍几种常见故障类型及其特征，以深入了解开发基于状态的监控解决方案时必须考虑的一些关键系统要求。这些包括但不限于不平衡、不对中、齿轮故障和滚动轴承缺陷。

2022-07-05 标签：传感器 mems 电动机 1.3k 0

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