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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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MEMS传感器是最先进的微型设备之一，以令人难以置信的精确度测量物理量，有力地改变着各行各业。MEMS技术使得高度集成系统的开发成为可能，这些系统用于监...
可穿戴设备是一种可以安装在人、动物和物品上，并能感知、传递和处理信息的计算设备，传感器是可穿戴设备的核心器件，可穿戴设备中的传感器是人类感官的延伸，增强...
技术日新月异，我们每天都走在创新的路上，获取前沿的领域知识，并转化为自己的成果，创造出更适合用户的产品。 在这一路上，贸泽电子始终会伴你左右，并随时提供...
MEMS压电超声换能器CMUT&PMUT以及生产工艺
声波：物体振动时激励着它周围的空气质点振动，由于空气具有可压缩性，在质点的相互作用下，振动物体四周的空气就交替地产生压缩与膨胀，并且逐渐向外传播，从而形成声波。
很多通信系统发展到某种程度都会有小型化的趋势。一方面小型化可以让系统更加轻便和有效，另一方面，日益发展的IC制造技术可以用更低的成本生产出大批量的小型产品。
编者注：TSV是通过在芯片与芯片之间、晶圆和晶圆之间制作垂直导通；TSV技术通过铜、钨、多晶硅等导电物质的填充，实现硅通孔的垂直电气互联，这项技术是目前...
北京大学在压电MEMS领域取得重要进展：让一块压电陶瓷实现了两个马达的驱动功能！
近日，北京大学董蜀湘教授课题组在压电MEMS领域独辟蹊径：发明了一种压电马达，只需一个压电陶瓷，就可产生两个对称驱动和实现两个对称运动输出功能。而传统上...
动作捕捉系统的一般性结构主要分为三个部分：数据采集设备、数据传输设备、数据处理单元，惯性式动作捕捉系统即是将惯性传感器应用到数据采集端，数据处理单元通过...
超级全面！一文看懂***：MEMS传感器及芯片制造的最核心设备
文章大纲 光刻是芯片制造最核心环节，大陆自给率亟待提升 ·光刻机是芯片制造的核心设备，市场规模全球第二 ·一超两强垄断市场，大陆卡脖子现象凸显 光刻机：...
MEMS 加速度计中的主要阻尼机制之一是运动质量与周围空气分子之间发生的内部摩擦。事实上，可以在极低的压力下封装基于 MEMS 的加速度计，以减少空气阻...
从辅助驾驶到自动驾驶: 感知型车辆建立在底层高质量的传感器数据基础之上
这些传感器技术包括摄像头、激光探测与测距(LiDAR)、无线电探测与测距(radar)、微机电传感器(MEMS)、惯性测量单元(IMU)、超声波和GPS...
这让我们能够在医院以外实施医疗监测和检验，可以在本地医疗机构（例如GP practices）或患者家中执行。为了给患者带来更大的便利，可穿戴设备（例如贴...
现在，工业4.0（也称为工业物联网或IIoT）浪潮正如火如荼，工业客户更专注于部署解决方案以增加设备正常运行时间，降低运营成本，延长设备寿命，提高工人生...
该参考设计是液位测量和控制系列中的首个。在第1部分中，描述了现代压力传感器之间的差异，并强调了微机电（MEMS）温度补偿硅压力传感器的最新进展的好处。这...
由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器技术差异较大。MEMS惯性传感器主要检测物体的运动，需要将传感器安装在载体上用于检测载体的...
尽管MEMS（微机电系统）技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年，但促使大众认识到惯性传感器作用的是Nintendo® Wii™和Apple®...
光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品，现在该技术面临着新的竞争。微机电系统(MEMS)陀螺仪开始抢夺传统FOG...
替代MEMS？未来20年，最具颠覆性的4大传感器技术，中国已提前布局！
在过去的20年，传感器厂商不断研究创新的测量原理和敏感材料，这些成果能让我们用到高集成、低成本的传感器，其中，最成功也是最具颠覆性的，无疑是MEMS技术...
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