Flexfilm文章

• 衍射光学元件DOE：台阶高度与位置误差的测量2025-09-17 18:03

  

  衍射光学元件（DOE）因其在波前调制和色差校正方面的优势，广泛应用于红外光学系统等领域。然而，其非连续面形结构（如相位突变点和台阶高度）使得传统检测方法难以满足精度要求。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效

  DOE 光学元件 测量 827浏览量

• 椭偏仪选型指南 | 椭圆偏振法与反射法的优劣对比2025-09-15 18:02

  

  椭圆偏振法和反射法是用于表面分析和薄膜表征的光学测量技术。这两种方法都依赖于光反射：椭圆偏振法分析反射光偏振状态的变化，反射法则测量其强度。椭圆偏振法和反射法之间的选择取决于测量原理、灵敏度和数据解释要求。每种技术在材料科学和表面分析中都有特定的作用。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学

  光学测量 半导体 薄膜材料 964浏览量

• 汽车玻璃透光率≥70%的吸水防雾微米膜层的制备2025-09-12 18:10

  

  汽车玻璃的防雾功能是保障驾驶安全的关键，当前前档玻璃可通过空调、后档玻璃可通过电加热实现防雾，但边窗玻璃因结构限制（多为单层钢化玻璃），现有防雾手段均不适用。同时，已有的防雾材料普遍存在耐候性差、耐磨性不足、易黄变等问题，难以满足汽车玻璃长期使用需求。本研究设计双层结构吸水防雾膜，通过分层功能分工实现高效防雾与稳定性能。通过Flexfilm汽车玻璃透过率检测

  材料 检测仪 汽车 986浏览量

• 台阶仪在大面积硬质涂层的应用：精准表征形貌与蚀刻 / 沉积结构参数2025-09-10 18:04

  

  PVD硬质涂层的表面形貌直接影响其摩擦学、润湿性等功能性能，而精准表征形貌特征是优化涂层工艺的关键。台阶仪因可实现大扫描面积的三维形貌成像与粗糙度量化，成为研究PVD涂层形貌的核心工具。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料

  仪器 测量 薄膜厚度 1394浏览量

• 椭偏仪在半导体薄膜厚度测量中的应用：基于光谱干涉椭偏法研究2025-09-08 18:02

  

  薄膜厚度的测量在芯片制造和集成电路等领域中发挥着重要作用。椭偏法具备高测量精度的优点，利用宽谱测量方式可得到全光谱的椭偏参数，实现纳米级薄膜的厚度测量。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。为解决半导体领域常见的透明硅基底上薄膜厚度测量的问题并消除硅层的叠加信号，本文提出基于光谱干

  半导体 厚度测量 薄膜 2220浏览量

• 台阶仪精准测量薄膜工艺中的膜厚：制备薄膜理想台阶提高膜厚测量的准确性2025-09-05 18:03

  

  固态薄膜因独特的物理化学性质与功能在诸多领域受重视，其厚度作为关键工艺参数，准确测量对真空镀膜工艺控制意义重大，台阶仪法因其能同时测量膜厚与表面粗糙度而被广泛应用于航空航天、半导体等领域。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确多种薄膜样品的薄膜厚度。台阶仪法需在薄膜表面制备台阶，通过测量台阶高度反推膜厚。然

  仪器 测量 940浏览量

• 椭偏仪在集成电路检测中的应用：以标准样品校准法校准椭偏参数2025-09-03 18:04

  

  椭偏术因其高灵敏度、非接触与在线测量能力，已成为薄膜与IC工艺检测的重要手段。但仪器的准确性依赖系统中偏振元件与几何参数的精确校准，且在工业环境中这些参数会随时间与环境漂移变化——因此需要快速、简单且准确的校准方法以维持仪器性能。传统校准方法（如双区域法）在实施上复杂且不易在生产线上周期性重复。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精

  检测 薄膜材料 集成电路 1174浏览量

• 汽车玻璃隔热膜技术方案的对比：汽车玻璃透光率检测分析2025-09-01 18:01

  

  汽车玻璃在采光、挡风和遮雨方面具有重要作用，但普通玻璃对紫外线和红外线阻隔性差，导致车内温度升高、空调能耗增加、车内设施老化速度加快。为解决这一问题，汽车玻璃隔热膜应运而生，要求在可见光透射率不低于75%的前提下，具备高红外反射率和紫外隔断能力。目前研究主要集中在隔热贴膜、ITO透明导电膜、可热弯银基低辐射膜、透明隔热涂料及溶胶-凝胶镀膜等方向，其中Flex

  仪器 检测 汽车 1866浏览量

• 薄膜测厚选台阶仪还是椭偏仪？针对不同厚度范围提供技术选型指南2025-08-29 18:01

  

  在现代工业与科研中，薄膜厚度是决定材料腐蚀性能、半导体器件特性以及光学与电学性质的关键参数。精准测量此参数对于工艺优化、功能材料理解及反向工程都至关重要。其中，台阶仪通过直接测量薄膜与暴露基底之间的物理高度差，为实现厚膜层的简单、直接测量提供了经典方案。而光谱椭偏仪则利用光与薄膜相互作用的偏振态变化，兼具非破坏性、快速测量与提取材料光学常数的优势，成为表征透

  半导体器件 测厚 薄膜 2915浏览量

• 椭偏仪的原理和应用 | 薄膜材料或块体材料光学参数和厚度的测量2025-08-27 18:04

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域,在材料光学特性分析领域具有重要地位。1椭偏仪的基本原理flexfilm当偏振光波穿过介质时，会与介质发生相互作用，这种作用会改

  数据处理 材料 测量 薄膜材料 1943浏览量