Flexfilm文章

• 椭偏仪微区成像光谱测量：精准表征二维ReS₂/ReSe₂面内双折射率Δn≈0.222025-12-17 18:02

  

  二维过渡金属硫族化合物ReS₂和ReSe₂因其晶体结构中的“铼链”而具备显著的面内光学各向异性，在偏振敏感光电器件中展现出重要潜力。然而，其微米级样品在可见光波段沿不同晶轴的关键光学参数（如折射率、消光系数）尚缺乏系统的定量表征，传统光谱椭偏仪因空间分辨率不足而难以实现微区精确测量。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛

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• 台阶仪在刻蚀工艺RIE中的应用：关键参数精确调控与表面粗糙度控制2025-12-15 18:03

  

  InP-on-Si（IMOS）作为一种新兴的光子集成平台，因其能够将高性能有源与无源光子器件异质集成在硅基电路之上而备受关注。然而，随着波导尺寸的急剧缩小，光场与波导表面的相互作用显著增强，导致刻蚀工艺引入的侧壁与底面粗糙度成为制约传播损耗的主要因素。同时，为实现紧凑的光路设计与低偏振串扰，要求刻蚀剖面具有近乎垂直的侧壁形貌。同时，为实现紧凑的光路设计与低偏

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• 椭偏仪在薄膜光学表征中的应用：实现25.5%EQE的稳定电致发光二极管2025-12-12 18:03

  

  胶体量子阱（CQWs）因其发光波长可调、谱线窄、光致发光量子产率高及稳定性优异，被视为新一代发光材料。其准二维结构产生强烈的垂直量子限域效应，同时保持面内激子离域特性，从而形成取向化的跃迁偶极矩，显著增强了光输出耦合能力，理论上外量子效率可接近40%。然而，要实现具有主导水平偶极取向的CQW薄膜的大面积可控制备，目前仍是巨大挑战。Flexfilm全光谱椭偏仪

  光学 发光二极管 薄膜 635浏览量

• MEMS制造中的台阶测量：原理、技术及其在工艺监控中的关键作用2025-12-10 18:04

  

  随着微机电系统（MEMS）器件向微型化、高深宽比发展，其内部微细台阶结构的精确测量成为保障器件性能的关键环节。然而，现有测量手段面临两难选择：非接触式方法（如光学干涉、原子力显微镜）往往设备昂贵、操作复杂或对样品有特定限制；而传统接触式台阶仪虽简单可靠，但其探针测量力较大，易划伤MEMS中常见的软质材料（如硅片），Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观

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• 椭偏术精准测量超薄膜n,k值及厚度：利用光学各向异性衬底2025-12-08 18:01

  

  传统椭偏测量在同时确定薄膜光学常数（复折射率n,k）与厚度d时，通常要求薄膜厚度大于10nm，这限制了其在二维材料等超薄膜体系中的应用。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本研究提出一种新方法：利用各向异性衬底打破椭偏分析中n,k,d的参数耦合。模拟结果表明，该方法可在单次测量中

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• 台阶仪的原理及常见问题解答2025-12-05 18:04

  

  表面特征是材料、化学等领域的重要研究内容。准确评价表面形貌与特征，对材料性能分析、工艺改进具有重要意义。台阶高度测量在表面研究中作用突出：一方面可用于分析微观形貌，另一方面在半导体制造等工业中涉及大量台阶检测需求。台阶高度是薄膜工艺中的关键参数，其精确、快速测定与控制是保障材料质量、提升生产效率的重要手段。因此，表面线条宽度、间距、台阶高度、粗糙度的测量，以

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• 光谱椭偏术在等离子体光栅传感中的应用：参数优化与亚皮米级测量精度2025-12-03 18:05

  

  基于衍射的光学计量方法（如散射测量术）因精度高、速度快，已成为周期性纳米结构表征的关键技术。在微电子与生物传感等前沿领域，对高性能等离子体纳米结构（如金属光栅）的精确测量提出了迫切需求，然而现有传统光学模型（如有效介质近似）往往难以准确描述其复杂的光学响应，这限制了相关器件在尺寸计量与高灵敏度传感中的应用。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与

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• 基于光学成像的沉积薄膜均匀性评价方法及其工艺控制应用2025-12-01 18:02

  

  静电喷涂沉积（ESD）作为一种经济高效的薄膜制备技术，因其可精确调控薄膜形貌与化学计量比而受到广泛关注。然而，薄膜的厚度均匀性是影响其最终性能与应用可靠性的关键因素，其优劣直接受到电压、流速、针基距等多种工艺参数的复杂影响。传统均匀性评估方法往往效率较低或具有破坏性，难以满足快速工艺优化的需求。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键

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• 光谱椭偏仪SE和紫外光谱UV在沥青胶结料性能表征及老化评估研究2025-11-28 18:03

  

  沥青路面是全球道路网络的主要构成部分，但其在使用过程中会持续受到交通荷载、温度变化、氧化老化和紫外线辐射等多种环境与机械应力的侵蚀。这些因素导致沥青结合料逐渐硬化、开裂，严重损害路面的服役性能与使用寿命。然而，传统上依赖流变学或经验性指标的表征方法，往往难以捕捉到沥青在分子和微观尺度上的早期老化与降解过程，从而限制了对其性能衰变机制的深入理解和有效预测。Fl

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• 台阶仪在Li₂O-Al₂O₃-SiO₂光敏微晶玻璃微结构制备中的应用2025-11-26 18:03

  

  随着三维集成封装（3DIC）技术的发展，传统转接板材料在高频、高密度封装中的性能瓶颈日益凸显。锂铝硅（Li₂O-Al₂O₃-SiO₂）光敏微晶玻璃因其优异的光敏性、高频介电性能和可控微纳加工能力，成为新一代转接板材料的理想选择。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生

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