Flexfilm文章

• 增材制造零件表面粗糙度测量：台阶仪 vs. 白光干涉仪 vs. 显微镜 vs. XCT2026-07-20 18:03

  

  增材制造，尤其是激光粉末床熔融，让复杂零件的制造有了新办法，但"逐层累加"的工艺也带来了特有的粗糙表面。这种表面带有部分熔融颗粒、球化效应等特征，正是疲劳裂纹容易萌生的地方。要准确评估零件性能，表面形貌的可靠表征是绕不开的一环。现有的多种测量技术（接触式与光学）测同一块增材制造表面，结果常常对不上，这成了该领域的一大难点。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪

  干涉仪 显微镜 测量 79浏览量

• 薄膜厚度测量方法对比：椭偏仪 vs. 反射仪 10nm–2000nm实测数据2026-07-17 18:03

  

  本研究用光谱椭偏仪（SE）和反射仪对Si衬底上的SiO₂和Al₂O₃薄膜做了比对测量，膜厚覆盖10nm到2000nm，附带了六分量的不确定度预算。两种方法在所有样品上结果一致，偏差都在各自的不确定度范围内。椭偏仪在薄层（500nm以下）不确定度更低，反射仪在超过1000nm的厚膜上反过来占优。在薄膜计量里，严格的厚度表征和可靠的不确定度评定是绕不开的基础活。

  仪器 测量 39浏览量

• 直流磁控溅射铜薄膜生长控制：厚度、粗糙度、晶粒与电阻率关系研究2026-07-15 18:03

  

  铜薄膜作为光伏电池电极层，其表面形貌直接影响器件的光电转换效率。在光伏器件中，电极层表面并非越平整越好，适度的形貌扰动可以增大有效吸收面积、延长光程，从而提高转换效率。然而，磁控溅射过程中膜厚如何系统调控铜薄膜的晶粒尺寸、粗糙度和电学性能，此前缺乏完整描述。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的

  电阻 薄膜 86浏览量

• 光谱椭偏仪分析AgTa薄膜：磁控溅射制备、光学常数及600°C红外反射率保持2026-07-13 18:04

  

  高温太阳能选择性吸收涂层中的红外反射层常用银（Ag）薄膜，因其红外反射率可达98%以上。但纯Ag熔点较低，超过400℃时容易发生团聚，导致反射性能下降。费曼仪器（Flexfilm）全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本文采用磁控溅射法制备不同Ta掺杂量的AgTa薄膜，系统研究了Ta含量对薄膜反射

  光谱 半导体 测试 69浏览量

• 磁控溅射镀膜的技术综述2026-07-10 18:05

  

  磁控溅射是制备各类功能薄膜的核心技术之一，广泛应用于节能玻璃、半导体器件、光学元件、太阳能电池、手机外壳、工模具及耐磨零部件等领域。随着高端制造业和应用需求的不断升级，该技术在靶结构、电源配置和工艺控制方面持续演进。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效

  电场 薄膜 镀膜 65浏览量

• W掺杂NiOₓ薄膜的椭偏光谱分析与光学常数表征2026-07-08 18:04

  

  电致变色材料可在电场下发生可逆光学变化，在智能窗等器件中前景广阔。钨掺杂氧化镍（W-dopedNiOₓ）兼具较高的离子存储能力和电子导电性，能与WO₃形成互补型电致变色体系，但该材料的光学常数在宽波段内缺乏经多种模型验证的可靠数据，限制了器件光学设计的精度。光谱椭偏法可无损获取薄膜的厚度与光学常数，然而数据反演结果高度依赖于所选振子模型，不同模型的适用性需针

  光学 光谱分析 薄膜 76浏览量

• 台阶仪在沉积工艺中的应用：精确测厚消除Cr薄膜应力环缺陷2026-07-06 18:04

  

  磁控溅射沉积铬薄膜时，表面常出现周期性同心圆明暗条纹，内部应力分布亦呈环状，这种缺陷源于圆形磁控靶的刻蚀槽形成环形发射源，导致高能粒子在低气压下以准弹道方式输运至衬底，造成径向能量输入不均，且铬在室温沉积时表面扩散极弱，高能中性氩原子的轰击进一步引入非均匀压应力，最终驱动硅片发生穹顶弯曲并呈现牛顿环干涉图样。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微

  仪器 测量 288浏览量

• 光谱椭偏仪应用｜超低折射率纳米空气柱阵列-SiO₂复合超材料2026-07-03 18:05

  

  光学薄膜的折射率直接决定其与光的相互作用效果：降低折射率可抑制菲涅尔反射，提升器件效率，而提高折射率对比度则有助于构建光子晶体。传统上，将空气引入材料形成多孔结构是降低折射率的主要途径，但两类现有技术各有短板，蛾眼状表面结构虽能实现折射率低于1.1，却因开放式拓扑导致机械强度差、环境稳定性不足；多孔陶瓷类材料虽有刚性骨架支撑，但孔结构调控精度有限，难以实现折

  仪器 光谱 材料 298浏览量

• 台阶仪在纯铁离子渗氮中的应用：磨痕轮廓测量与耐磨性表征2026-07-01 18:03

  

  电磁纯铁因其优异的磁学性能（高饱和磁化强度、极低矫顽力）以及良好的塑韧性和导热性，在航空航天、军工及民用领域的磁性部件制造中占据重要地位，典型应用如磁粉离合器的转子和外壳。然而，纯铁基体硬度低、耐磨性差，严重制约了其服役寿命。表面离子渗氮技术被认为是提升其表面性能的有效手段，但传统工艺在渗氮效率、层深和相组成调控方面仍存在局限。Flexfilm费曼仪器探针式

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• 椭偏仪在锂金属电池中的应用：原位椭偏法的铜表面SEI形成动力学对比分析2026-06-29 18:04

  

  锂金属电池凭借超高比容量和低标准还原电位，长期被寄望于下一代储能技术的突破口。但实际上，反复充放电过程中金属锂与液态电解液接触，界面处会自发形成固体电解质界面相（SEI），这层纳米级薄膜的组成与质量，几乎决定了电池的库仑效率、循环寿命和安全性。SEI一旦形成不佳，锂表面就会持续与电解液发生副反应，晶须状死锂大量滋生，电池往往在几十次循环后便提前失效。费曼仪器

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