Flexfilm文章

• 台阶仪校准：材料测具的轮廓保真度与探针几何形态2025-10-31 18:12

  

  在工业表面纹理测量领域，触针式轮廓仪仍是最常用的测量工具。为确保测量结果的准确性，需要定期使用ISO5436-1标准定义的材料测具进行校准。这些校准过程涉及探针与材料测具之间的机械接触，在重复测量中可能引起磨损，进而影响校准结果的可靠性。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质

  材料 测量 1003浏览量

• 椭偏仪在DRAM制造量测中的应用：实现20mm×20mm超宽视场下晶圆级精准监控及提升良率2025-10-29 18:02

  

  随着半导体器件特征尺寸持续缩小，局部结构变化易影响电学性能甚至导致失效，对高空间密度、高吞吐量的先进计量技术需求迫切。但现有技术存在局限：光谱类技术（SR/SE/MMSE）需逐点测量，难以实现晶圆级快速计量；SEM分辨率高却视场小，无法高效识别大范围结构变化；传统成像类技术视场窄且穆勒矩阵组件利用不足。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射

  晶圆 测量 877浏览量

• 如何选择台阶仪的触针针尖？基于三维仿真与谱分析的选型标准研究2025-10-27 18:04

  

  台阶仪因其测量的直接性和数据的可追溯性，在表面形貌精密测量中始终占据关键地位。然而，其触针的球状针尖在扫描表面时，无法完全复现真实的峰谷结构，导致所测轮廓与实际轮廓存在差异，此现象被称为“轮廓畸变”或“机械滤波”。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供

  三维仿真 仪器 测量 545浏览量

• 光谱椭偏仪入门指南：原理、方法与基础应用2025-10-24 18:09

  

  在材料科学和光学表征领域，精确获取薄膜厚度与光学常数是理解材料性能的关键。然而，传统测量方法往往面临破坏样品、精度不足或难以适用于复杂微观结构的局限。针对这一问题，光谱椭偏仪（SE）作为一种非侵入式光学技术，通过分析偏振光在反射或透射过程中发生的振幅比（Ψ）和相位差（Δ）变化，实现对表面、界面和薄膜的高精度表征。Flexf

  光谱 测试 1672浏览量

• 薄膜测厚选CWL法还是触针法？针对不同厚度与材质的台阶仪技术选型指南2025-10-22 18:03

  

  在微电子与MEMS领域，薄膜厚度测量对薄膜沉积、产品测试及失效分析至关重要，有机半导体因低成本、室温常压易加工及“湿法”制备优势，在OLED等器件中潜力大，但其一存在膜层柔软、附着力差等问题，影响厚度测量准确性；其二常用的触针式台阶仪虽测量范围广，却因接触式测量易破坏软膜，非接触的彩色白光（CWL）法虽可扫描大面积表面，却受薄膜光学不均匀性影响精度。Flex

  测厚 测量 薄膜 2559浏览量

• 椭偏仪表征薄膜非晶相 | 精准分析不同衬底温度下氢化非晶氧化硅(i-a-SiOₓ:H)薄膜的光学性质与结构2025-10-20 18:04

  

  本征氢化非晶氧化硅（i-a-SiOₓ:H）是a-Si:H/c-Si异质结太阳电池的重要钝化材料，兼具PECVD低温沉积、带隙宽等优势，但i-a-SiOₓ:H钝化性能与制备工艺、仪器密切相关；目前室温（25℃）下在n型直拉单晶硅（n-Cz-Si）表面沉积i-a-SiOₓ:H时，硅片少子寿命极低，钝化效果差，且衬底温度对其钝化性能的影响尚不明确；Flexfilm

  光学 太阳能电池 1039浏览量

• 台阶仪在表面计量学的应用：基于表面纹理最大高度S±3σ的表征研究2025-10-17 18:03

  

  表面形貌的平均高度与最大幅度直接影响零部件的使用功能。工业中常通过二维轮廓测量获取相关参数，但轮廓最大高度存在较大波动性。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究提出基于三维面扫描测量结果，通过将表面最大高度修正至材料比率0.13%-99

  仪器 测量 轮廓测量 840浏览量

• 椭偏仪在精密薄膜中的应用：基于单驱动变角结构的高重复性精度控制系统2025-10-15 18:04

  

  椭偏测试技术具有非接触、高灵敏、无样品破坏优势，广义椭偏仪因可测各向同性与异性样品成研究热点，但需变角结构实现多角度测量。当前立式椭偏仪存在双电机配合难或装配精度高问题，卧式椭偏仪光路不易对准，且缺乏低成本、高集成度且精确变角控制的方案。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本文提

  控制系统 薄膜 873浏览量

• 台阶仪在多镀层膜厚中的应用：基于单基体多膜标准实现0.5%高精度测量2025-10-13 18:04

  

  表面涂覆技术是现代制造业的关键工艺，镀层厚度是其核心质量指标。目前，单镀层厚度测量技术已较为成熟，但多镀层厚度标准仍存在溯源精度低、量值不统一等问题。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究基于真空镀膜技术和单镀层溯源方法，成功研制出单基

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• 椭偏仪常见技术问题解答（二）2025-10-10 18:05

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。1光谱椭偏法如何测定折射率?flexfilmΨ的振荡具有特定的振幅除了厚度信息，数据振荡的形状取决于薄膜的折射率。Ψ的振荡曲线

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