Flexfilm文章

• 椭偏仪在半导体薄膜厚度测量中的应用：基于光谱干涉椭偏法研究2025-09-08 18:02

  

  薄膜厚度的测量在芯片制造和集成电路等领域中发挥着重要作用。椭偏法具备高测量精度的优点，利用宽谱测量方式可得到全光谱的椭偏参数，实现纳米级薄膜的厚度测量。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。为解决半导体领域常见的透明硅基底上薄膜厚度测量的问题并消除硅层的叠加信号，本文提出基于光谱干

  半导体 厚度测量 薄膜 2585浏览量

• 台阶仪精准测量薄膜工艺中的膜厚：制备薄膜理想台阶提高膜厚测量的准确性2025-09-05 18:03

  

  固态薄膜因独特的物理化学性质与功能在诸多领域受重视，其厚度作为关键工艺参数，准确测量对真空镀膜工艺控制意义重大，台阶仪法因其能同时测量膜厚与表面粗糙度而被广泛应用于航空航天、半导体等领域。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确多种薄膜样品的薄膜厚度。台阶仪法需在薄膜表面制备台阶，通过测量台阶高度反推膜厚。然

  仪器 测量 1225浏览量

• 椭偏仪在集成电路检测中的应用：以标准样品校准法校准椭偏参数2025-09-03 18:04

  

  椭偏术因其高灵敏度、非接触与在线测量能力，已成为薄膜与IC工艺检测的重要手段。但仪器的准确性依赖系统中偏振元件与几何参数的精确校准，且在工业环境中这些参数会随时间与环境漂移变化——因此需要快速、简单且准确的校准方法以维持仪器性能。传统校准方法（如双区域法）在实施上复杂且不易在生产线上周期性重复。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精

  检测 薄膜材料 集成电路 1399浏览量

• 汽车玻璃隔热膜技术方案的对比：汽车玻璃透光率检测分析2025-09-01 18:01

  

  汽车玻璃在采光、挡风和遮雨方面具有重要作用，但普通玻璃对紫外线和红外线阻隔性差，导致车内温度升高、空调能耗增加、车内设施老化速度加快。为解决这一问题，汽车玻璃隔热膜应运而生，要求在可见光透射率不低于75%的前提下，具备高红外反射率和紫外隔断能力。目前研究主要集中在隔热贴膜、ITO透明导电膜、可热弯银基低辐射膜、透明隔热涂料及溶胶-凝胶镀膜等方向，其中Flex

  仪器 检测 汽车 2148浏览量

• 薄膜测厚选台阶仪还是椭偏仪？针对不同厚度范围提供技术选型指南2025-08-29 18:01

  

  在现代工业与科研中，薄膜厚度是决定材料腐蚀性能、半导体器件特性以及光学与电学性质的关键参数。精准测量此参数对于工艺优化、功能材料理解及反向工程都至关重要。其中，台阶仪通过直接测量薄膜与暴露基底之间的物理高度差，为实现厚膜层的简单、直接测量提供了经典方案。而光谱椭偏仪则利用光与薄膜相互作用的偏振态变化，兼具非破坏性、快速测量与提取材料光学常数的优势，成为表征透

  半导体器件 测厚 薄膜 3127浏览量

• 椭偏仪的原理和应用 | 薄膜材料或块体材料光学参数和厚度的测量2025-08-27 18:04

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域,在材料光学特性分析领域具有重要地位。1椭偏仪的基本原理flexfilm当偏振光波穿过介质时，会与介质发生相互作用，这种作用会改

  数据处理 材料 测量 薄膜材料 2289浏览量

• 台阶仪测量膜厚的方法改进：通过提高膜厚测量准确性优化镀膜工艺2025-08-25 18:05

  

  随着透明与非透明基板镀膜工艺的发展，对膜层厚度的控制要求日益严格。台阶仪作为一种常用的膜厚测量设备，在实际使用中需通过刻蚀方式制备台阶结构，通过测量台阶高度进行膜层厚度测量。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确多种薄膜样品的薄膜厚度。然而，刻蚀过程中若边界处理不佳，会导致台阶不平行、测量误差大、重现性差等

  仪器 测量 测量设备 1805浏览量

• 椭偏仪在OLED中的应用丨多层薄膜纳米结构的各膜层厚度高精度提取2025-08-22 18:09

  

  在OLED显示器中的多层超薄膜叠加结构的椭偏测量应用中，需要同时提取多层超薄膜堆栈各层薄膜厚度值，而膜层与膜层间的厚度也会有强耦合性会导致测量的不确定性增加。某些膜层对总体测量数据的灵敏度也极低，导致部分膜层厚度测量结果偏离真实值。对此本文构建了一套针对超薄膜椭偏测量灵敏度和唯一性评估模型，应用于超薄膜待测参数高精度的提取，并结合在国内领先测量供应商费曼仪器

  OLED 显示器 测量 1348浏览量

• 台阶仪1分钟测半导体激光芯片Smile值，实测16组LDA芯片误差<1μm2025-08-20 18:02

  

  半导体激光阵列LDA芯片作为大功率半导体激光器的核心部件，其封装质量直接决定了半导体激光器的可靠性。本文采用Flexfilm探针式台阶仪结合探针扫描法测量Smile效应，能够对LDA芯片批量化封装的生产过程中芯片Smile效应进行实时的在线监测，从而保障封装工艺的稳定性，提高封装良品率。1Smile效应抑制flexfilm半导体激光阵列器件工作时，各个发光单

  LDA 半导体 半导体激光芯片 2029浏览量

• 汽车玻璃透光率≥70%的隔热膜制备：优化工艺参数提升透光与隔热性能2025-08-18 18:02

  

  汽车玻璃作为汽车的重要组成部分直接影响驾乘舒适度。汽车玻璃隔热膜需满足前挡风玻璃可见光透过率≥70%（国标要求），同时具备高红外阻隔率。本文基于磁控溅射技术，在玻璃基底上制备TiO₂/Ag/TiO₂三层结构隔热膜，通过优化工艺参数提升光学与隔热性能，满足节能环保需求。费曼仪器在汽车工业领域从研发、生产到质检的全流程中均有严格监控。Flexfilm汽车玻璃透过

  检测 汽车 玻璃 1598浏览量